大气等离子体射流炬设计及性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 大气等离子体加工技术发展概况 | 第10-13页 |
| 1.3 大气等离子体发生装置研究现状 | 第13-17页 |
| 1.4 大气等离子体加工复杂光学曲面面临的问题 | 第17-18页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 大气等离子体射流炬设计及实验研究 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 大气等离子体射流炬设计及放电特性分析 | 第19-22页 |
| 2.2.1 环状电极炬设计及实验分析 | 第19-21页 |
| 2.2.2 针孔电极炬设计及实验分析 | 第21-22页 |
| 2.3 工艺参数对去除函数影响规律研究 | 第22-32页 |
| 2.3.1 He流量对去除函数的影响规律 | 第23-25页 |
| 2.3.2 CF_4流量对去除函数的影响规律 | 第25-27页 |
| 2.3.3 O_2流量对去除函数的影响规律 | 第27-30页 |
| 2.3.4 加工距离对去除函数的影响规律 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 大气等离子体射流炬理论仿真研究 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 大气等离子体射流炬功率匹配网络建模分析 | 第33-37页 |
| 3.2.1 功率匹配网络建模 | 第33-35页 |
| 3.2.2 等离子体炬电学特性分析 | 第35-37页 |
| 3.3 大气等离子体射流炬多物理场仿真分析 | 第37-45页 |
| 3.3.1 流场与组分场仿真分析 | 第38-40页 |
| 3.3.2 容性耦合等离子体放电过程建模 | 第40-42页 |
| 3.3.3 等离子体炬放电过程仿真分析 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 大气等离子体射流炬加工稳定性研究 | 第46-58页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 加工稳定性基础实验及分析 | 第46-53页 |
| 4.2.1 加工过程温度影响相关实验 | 第46-48页 |
| 4.2.2 铝电极炬的加工稳定性实验 | 第48-50页 |
| 4.2.3 电极表面特性变化分析 | 第50-53页 |
| 4.3 电极材料对加工稳定性的影响实验 | 第53-55页 |
| 4.3.1 不同电极材料优选实验 | 第53-54页 |
| 4.3.2 紫铜电极炬的加工稳定性实验 | 第54-55页 |
| 4.4 水冷电极炬的加工稳定性实验 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
