| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 大尺寸光栅的研究应用现状 | 第9-12页 |
| 1.3 国内外大尺寸光栅面型质量测量的研究现状分析 | 第12-21页 |
| 1.3.1 大尺寸光栅面型和微结构尺寸测量的国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.2 大尺寸光栅平面度测量的国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3.3 研究现状分析 | 第20-21页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 大尺寸光栅平面度与周期分散性测量原理与总体设计 | 第23-34页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 大尺寸光栅平面度与周期分散性的定义 | 第23-24页 |
| 2.3 大尺寸光栅平面度与周期分散性测量原理 | 第24-32页 |
| 2.3.1 等厚干涉基本原理 | 第24-26页 |
| 2.3.2 斐索干涉仪基本原理 | 第26-28页 |
| 2.3.3 平面度与周期分散性测量原理 | 第28-32页 |
| 2.4 大尺寸光栅平面度与周期分散性测量总体设计 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 大尺寸光栅子孔径拼接技术研究 | 第34-47页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 子孔径拼接的基本原理 | 第34-36页 |
| 3.3 子孔径选择 | 第36-39页 |
| 3.3.1 子孔径的形状 | 第36-37页 |
| 3.3.2 子孔径分布方式分类 | 第37-38页 |
| 3.3.3 不同子孔径拼接方法的比较 | 第38页 |
| 3.3.4 拼接方法的选择 | 第38-39页 |
| 3.4 子孔径拼接算法程序的设计 | 第39-46页 |
| 3.4.1 拼接算法的基本原理 | 第39-42页 |
| 3.4.2 程序设计与仿真 | 第42-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 实验与测量结果分析 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 测量系统实验平台的搭建 | 第47-48页 |
| 4.3 光栅局部平面度与周期分散性测量实验 | 第48-54页 |
| 4.4 光栅整体平面度与周期分散性测量 | 第54-57页 |
| 4.5 子孔径拼接测量的误差因素分析 | 第57-59页 |
| 4.5.1 干涉仪误差 | 第57-58页 |
| 4.5.2 机械误差 | 第58-59页 |
| 4.5.3 子孔径拼接误差 | 第59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
