| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 洁净真空系统中的污染物概述 | 第8-11页 |
| 1.2.1 洁净真空系统中污染物的来源 | 第8-10页 |
| 1.2.2 洁净真空系统中污染物的影响 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11页 |
| 1.4 课题研究的意义 | 第11-12页 |
| 1.5 课题研究思路及主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 洁净真空系统中污染物扩散沉降规律的理论基础 | 第13-25页 |
| 2.1 稀薄气体状态的判别 | 第13-14页 |
| 2.2 高真空系统中气体运动分布状态及影响因素 | 第14-25页 |
| 2.2.1 稀薄气体运动基本理论 | 第14-19页 |
| 2.2.2 平衡态 | 第19-20页 |
| 2.2.3 非平衡态 | 第20-22页 |
| 2.2.4 气体分子和壁面的相互作用 | 第22-24页 |
| 2.2.5 影响因素 | 第24-25页 |
| 第三章 真空中污染物扩散沉降过程的二维模拟研究 | 第25-45页 |
| 3.1 理论模型的建立 | 第25-27页 |
| 3.1.1 研究对象的介绍 | 第25页 |
| 3.1.2 真空环境下自由分子运动的数学模型 | 第25-27页 |
| 3.1.3 仿真软件简介 | 第27页 |
| 3.2 静态真空条件下的污染物扩散沉降模拟 | 第27-37页 |
| 3.2.1 静态真空状态分析 | 第27页 |
| 3.2.2 数学模型和边界条件 | 第27-28页 |
| 3.2.3 模拟内容 | 第28-36页 |
| 3.2.4 小结 | 第36-37页 |
| 3.3 动态真空条件下的污染物扩散沉降模拟 | 第37-45页 |
| 3.3.1 动态真空状态分析 | 第37页 |
| 3.3.2 数学模型和边界条件 | 第37页 |
| 3.3.3 模拟内容 | 第37-44页 |
| 3.3.4 小结 | 第44-45页 |
| 第四章 真空系统中污染物扩散沉降过程的实验研究 | 第45-48页 |
| 4.1 实验方案 | 第45页 |
| 4.2 真空系统污染物采集实验装置 | 第45-46页 |
| 4.3 真空系统污染物扩散分布实验结果与分析 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 总结 | 第48-49页 |
| 5.2 展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 作者简介 | 第54页 |