| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 微尺度力学特性测量技术研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 微尺度力学特性测量技术研究现状 | 第12-21页 |
| 1.2.1 光谱测量技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 透射电镜测量技术 | 第13-14页 |
| 1.2.3 光镊测量技术 | 第14页 |
| 1.2.4 微拉伸法测量技术 | 第14-16页 |
| 1.2.5 纳米压痕法测量技术 | 第16-18页 |
| 1.2.6 基于扫描探针显微镜的测量技术 | 第18-21页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第21-24页 |
| 第二章 基于微悬臂梁的力学检测方法理论研究 | 第24-48页 |
| 2.1 微悬臂梁 | 第24-25页 |
| 2.2 微悬臂梁的工作方式 | 第25-27页 |
| 2.3 基于微悬臂梁的力学测量模式 | 第27-34页 |
| 2.3.1 微悬臂梁轻敲法测量模式 | 第27-28页 |
| 2.3.2 微悬臂梁弯曲法测量模式 | 第28-34页 |
| 2.4 微悬臂梁弯曲量检测方法的研究 | 第34-44页 |
| 2.4.1 光杠杆法 | 第34-35页 |
| 2.4.2 激光点位置变化对光杠杆法测量影响的分析 | 第35-40页 |
| 2.4.3 光杠杆光路检测模型分析 | 第40-44页 |
| 2.5 系统整体研究方案 | 第44-45页 |
| 2.6 本章小结 | 第45-48页 |
| 第三章 基于微悬臂梁的微尺度力学特性测量系统设计 | 第48-68页 |
| 3.1 微尺度力学特性测量系统设计 | 第48-63页 |
| 3.1.1 系统整体设计 | 第48-50页 |
| 3.1.2 自制AFM测头设计 | 第50-57页 |
| 3.1.3 超精密电磁补偿天平 | 第57-58页 |
| 3.1.4 显微干涉测量模块 | 第58-60页 |
| 3.1.5 测量控制单元 | 第60-63页 |
| 3.2 微尺度力学测量系统性能验证 | 第63-66页 |
| 3.3 本章小结 | 第66-68页 |
| 第四章 微悬臂梁探针法向弹性常数标定技术 | 第68-110页 |
| 4.1 现有的微悬臂梁法向弹性常数标定方法讨论 | 第68-78页 |
| 4.2 本课题标定方法原理 | 第78-80页 |
| 4.3 常用微悬臂梁探针法向弹性常数标定 | 第80-95页 |
| 4.3.1 标定实验研究 | 第80-85页 |
| 4.3.2 标定结果不确定度评定 | 第85-91页 |
| 4.3.3 多种标定方法的比较与评价 | 第91-95页 |
| 4.4 特殊微悬臂梁探针法向弹性常数标定 | 第95-108页 |
| 4.4.1 超短悬臂梁探针法向弹性常数标定 | 第95-103页 |
| 4.4.2 超硬悬臂梁探针法向弹性常数标定 | 第103-106页 |
| 4.4.3 Tipless悬臂梁探针法向弹性常数标定 | 第106-108页 |
| 4.5 本章小结 | 第108-110页 |
| 第五章 微悬臂梁探针横向弹性常数标定技术及应用 | 第110-128页 |
| 5.1 现有微悬臂梁横向弹性常数标定方法讨论 | 第110-117页 |
| 5.2 横向弹性常数标定技术研究 | 第117-125页 |
| 5.2.1 标定方法原理 | 第117-119页 |
| 5.2.2 微悬臂梁探针的选择 | 第119-120页 |
| 5.2.3 微悬臂梁横向弹性常数标定实验 | 第120-125页 |
| 5.3 横向弹性常数力学测量应用 | 第125-127页 |
| 5.4 本章小结 | 第127-128页 |
| 第六章 薄膜/基底结构力学特性研究和表征 | 第128-148页 |
| 6.1 薄膜样品的制备方法 | 第128-132页 |
| 6.2 泡状屈曲力学特性研究 | 第132-138页 |
| 6.2.1 标定超硬悬臂梁探针光杠杆灵敏度 | 第132-133页 |
| 6.2.2 显微干涉法检测泡状屈曲三维形貌 | 第133-135页 |
| 6.2.3 泡状屈曲刚度测量 | 第135-138页 |
| 6.3 薄膜/基底结构界面脱粘能的研究 | 第138-147页 |
| 6.3.1 界面脱粘能表征方法 | 第141-143页 |
| 6.3.2 界面脱粘能测量实验 | 第143-147页 |
| 6.4 本章小结 | 第147-148页 |
| 第七章 总结与展望 | 第148-152页 |
| 7.1 论文完成主要工作 | 第148-149页 |
| 7.2 论文创新点 | 第149-150页 |
| 7.3 工作展望 | 第150-152页 |
| 参考文献 | 第152-166页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第166-168页 |
| 致谢 | 第168-169页 |