| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-34页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 课题相关内容国内外研究现状 | 第15-30页 |
| 1.2.1 大型光学元件超精密金刚石车削加工技术研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.2 快速刀具伺服系统研究现状 | 第23-27页 |
| 1.2.3 超精密金刚石车削加工误差补偿技术研究现状 | 第27-30页 |
| 1.3 现有研究现状的分析 | 第30-31页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第31-34页 |
| 第2章 基于摆动进给超精密金刚石车削加工方法 | 第34-59页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 基于摆动进给超精密金刚石车削机床的球面加工方法 | 第34-41页 |
| 2.2.1 摆动进给超精密金刚石车削机床加工原理 | 第34-35页 |
| 2.2.2 摆动进给超精密金刚石车削机床球面加工范围的确定 | 第35-39页 |
| 2.2.3 摆动进给超精密金刚石车削机床加工参数的确定 | 第39-41页 |
| 2.3 基于FTS系统的非球面加工方法 | 第41-53页 |
| 2.3.1 非球面最接近比较球面的确定 | 第42-45页 |
| 2.3.2 三维空间径向非球面度计算方法 | 第45-50页 |
| 2.3.3 FTS系统的非球面度进给规律 | 第50-51页 |
| 2.3.4 基于FTS系统的非球面切削加工特点分析 | 第51-53页 |
| 2.4 摆动进给超精密金刚石车削加工中的斜角切削 | 第53-57页 |
| 2.4.1 摆动过程中的切削几何参数 | 第53-56页 |
| 2.4.2 摆动过程中的斜角切削力 | 第56页 |
| 2.4.3 FTS系统的性能指标 | 第56-57页 |
| 2.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第3章 快速刀具伺服系统的研制及性能测试 | 第59-79页 |
| 3.1 引言 | 第59页 |
| 3.2 快速伺服刀架的结构设计 | 第59-68页 |
| 3.2.1 放大式柔性铰链结构设计及力学分析 | 第59-67页 |
| 3.2.2 FTS机械结构有限元分析 | 第67-68页 |
| 3.3 FTS系统动态特性分析 | 第68-73页 |
| 3.3.1 快速刀具伺服系统机械系统建模与分析 | 第68-69页 |
| 3.3.2 时域响应性能分析 | 第69-73页 |
| 3.4 FTS系统性能测试 | 第73-78页 |
| 3.4.1 系统寄生误差测量与分析 | 第73-74页 |
| 3.4.2 系统静态刚度测量 | 第74页 |
| 3.4.3 系统切削刚度测试 | 第74-75页 |
| 3.4.4 系统固有频率特性测量 | 第75页 |
| 3.4.5 重复定位精度及分辨率测量 | 第75-78页 |
| 3.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第4章 基于摆动进给超精密金刚石车削机床误差分析 | 第79-104页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 基于摆动进给超精密机床空间几何误差建模 | 第79-90页 |
| 4.2.1 摆动进给超精密车削机床的拓扑结构 | 第79-81页 |
| 4.2.2 摆动进给超精密车削机床的低序体阵列 | 第81-82页 |
| 4.2.3 摆动进给超精密车削机床的运动误差分析 | 第82-89页 |
| 4.2.4 摆动进给超精密车削机床的运动误差模型 | 第89-90页 |
| 4.3 摆动进给超精密车削机床的误差敏感性分析 | 第90-99页 |
| 4.3.1 误差因素的正交实验设计 | 第91-94页 |
| 4.3.2 正交实验结果分析 | 第94-99页 |
| 4.4 基于摆动进给超精密机床的主要误差因素分析 | 第99-103页 |
| 4.4.1 运动部件Z向误差 | 第99-100页 |
| 4.4.2 摆轴轴线与主轴轴线在竖直平面内平行度误差 | 第100页 |
| 4.4.3 摆轴轴线与主轴轴线在水平平面内平行度误差 | 第100-101页 |
| 4.4.4 摆轴轴线与主轴轴线的距离误差 | 第101页 |
| 4.4.5 摆臂部件角度误差 | 第101-102页 |
| 4.4.6 伺服刀架偏摆误差 | 第102页 |
| 4.4.7 刀具位置误差 | 第102-103页 |
| 4.5 本章小结 | 第103-104页 |
| 第5章 基于摆动进给超精密金刚石车削加工误差补偿 | 第104-122页 |
| 5.1 引言 | 第104-106页 |
| 5.2 机床的静态位置误差校正 | 第106-112页 |
| 5.2.1 主轴与导轨进给轴线平行度校正 | 第106-107页 |
| 5.2.2 主轴与基座的平行度校正 | 第107-108页 |
| 5.2.3 主轴轴线与摆轴转动轴线平行度校正 | 第108-110页 |
| 5.2.4 主轴与摆轴轴线等高校正 | 第110-111页 |
| 5.2.5 主轴轴线与摆轴轴线水平间距误差校正 | 第111页 |
| 5.2.6 刀具进给方向与主轴轴线同轴误差校正 | 第111-112页 |
| 5.3 基于软件补偿的非球曲面加工误差补偿方法 | 第112-116页 |
| 5.3.1 FTS寄生误差补偿方法 | 第112-114页 |
| 5.3.2 工件面形误差的在位补偿 | 第114-116页 |
| 5.4 加工实验与结果分析 | 第116-120页 |
| 5.4.1 工艺流程及加工对象 | 第116-117页 |
| 5.4.2 机床静态位置误差补偿实验 | 第117-118页 |
| 5.4.3 基于软件的加工误差在位补偿实验 | 第118-120页 |
| 5.5 本章小结 | 第120-122页 |
| 结论 | 第122-125页 |
| 参考文献 | 第125-136页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第136-138页 |
| 致谢 | 第138-139页 |
| 个人简历 | 第139页 |
