基于碳纳米管的微型富集器的制备与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题背景 | 第10页 |
| 1.2 气体富集器的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 气体富集器的平面结构 | 第11-13页 |
| 1.2.2 气体富集器的三维结构 | 第13-15页 |
| 1.3 MEMS技术 | 第15-19页 |
| 1.3.1 MEMS技术的发展历程 | 第17-18页 |
| 1.3.2 MEMS技术的主要应用 | 第18-19页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 富集器的基本理论 | 第21-28页 |
| 2.1 富集器的工作原理及性能参数 | 第21页 |
| 2.2 富集吸附过程 | 第21-26页 |
| 2.2.1 吸附材料 | 第22-23页 |
| 2.2.1.1 碳纳米管材料 | 第22页 |
| 2.2.1.2 Tenax-TA材料 | 第22-23页 |
| 2.2.1.3 其它吸附材料 | 第23页 |
| 2.2.2 气体流量 | 第23-25页 |
| 2.2.3 富集时间 | 第25-26页 |
| 2.3 加热解吸附过程 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微型富集器的设计与制备 | 第28-47页 |
| 3.1 两种微型富集器的结构设计与仿真 | 第28-32页 |
| 3.1.1 三维格栅分流型富集器 | 第28-30页 |
| 3.1.1.1 三维格栅分流型富集器的结构设计 | 第28-29页 |
| 3.1.1.2 三维格栅分流型富集器的气路仿真 | 第29-30页 |
| 3.1.2 二维 4×4 膜片型富集器 | 第30-32页 |
| 3.1.2.1 膜片型富集器的结构设计 | 第30页 |
| 3.1.2.2 膜片型富集器的膜片结构应力仿真 | 第30-32页 |
| 3.2 微型富集器的制备 | 第32-46页 |
| 3.2.1 微型富集器富集结构的制备 | 第33-40页 |
| 3.2.1.1 三维结构正面格栅微型通道的制备 | 第33-37页 |
| 3.2.1.2 二维结构的膜片制备 | 第37-40页 |
| 3.2.2 吸附材料的涂覆 | 第40-41页 |
| 3.2.3 加热电极的制备 | 第41-44页 |
| 3.2.3.1 掩膜版工艺 | 第41-42页 |
| 3.2.3.2 剥离法工艺 | 第42-44页 |
| 3.2.4 器件的封装及电路连接 | 第44-46页 |
| 3.2.4.1 微型富集器的封装 | 第44-45页 |
| 3.2.4.2 微型器件的电路连接 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 微型富集器的性能测试 | 第47-71页 |
| 4.1 三维格栅分流型富集器测试 | 第48-61页 |
| 4.1.1 二硫化碳气体测试 | 第48-52页 |
| 4.1.2 甲硫醚气体测试 | 第52-56页 |
| 4.1.3 二甲二硫气体测试 | 第56-60页 |
| 4.1.4 富集率测试总结 | 第60-61页 |
| 4.2 二维 4×4 膜片型富集器测试 | 第61-70页 |
| 4.2.1 二硫化碳气体测试 | 第61-65页 |
| 4.2.2 甲硫醚气体测试 | 第65-69页 |
| 4.2.3 富集率测试总结 | 第69-70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 微型富集器加热电极的优化仿真 | 第71-81页 |
| 5.1 蛇形薄膜加热电极的温场均匀性仿真 | 第71-75页 |
| 5.2 双螺旋形薄膜加热电极的温场均匀性仿真 | 第75-80页 |
| 5.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 全文总结 | 第81页 |
| 6.2 工作展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第88-89页 |
