白光扫描干涉测量方法与系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-31页 |
| ·超精密加工技术 | 第13-15页 |
| ·超精密检测技术 | 第15-20页 |
| ·非光学测量方法 | 第16-17页 |
| ·光学测量方法 | 第17-20页 |
| ·光学显微干涉术 | 第20-28页 |
| ·单色光相移干涉术 | 第20-22页 |
| ·白光扫描干涉术 | 第22-28页 |
| ·课题的提出和工作内容 | 第28-31页 |
| 第二章 白光干涉信号分析方法 | 第31-47页 |
| ·白光干涉信号的建立 | 第31-33页 |
| ·相干峰感知算法 | 第33-43页 |
| ·插值法 | 第33-34页 |
| ·重心法 | 第34-35页 |
| ·多项式拟合法 | 第35-36页 |
| ·傅立叶变换法 | 第36-37页 |
| ·希尔伯特变换法 | 第37-38页 |
| ·小波变换法 | 第38-41页 |
| ·空间频域法 | 第41-43页 |
| ·白光相移干涉法 | 第43页 |
| ·方法比较分析 | 第43-46页 |
| ·扫描步长变化 | 第43-44页 |
| ·噪声等级变化 | 第44-45页 |
| ·标准台阶测量 | 第45-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 第三章 白光显微干涉测试系统 | 第47-69页 |
| ·系统设计目标 | 第47-48页 |
| ·系统硬件构成 | 第48-57页 |
| ·机械支撑及运动机构 | 第48-52页 |
| ·照明器 | 第52-53页 |
| ·光学干涉系统 | 第53-55页 |
| ·图像采集系统 | 第55-57页 |
| ·系统总体装配 | 第57页 |
| ·系统软件实现 | 第57-59页 |
| ·系统性能测试 | 第59-68页 |
| ·环境测试 | 第59-63页 |
| ·重复性和复现性测试 | 第63-65页 |
| ·干涉条纹姿态的影响 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第四章 白光相移干涉法 | 第69-85页 |
| ·测量原理 | 第69-70页 |
| ·相位提取方法选择 | 第70-80页 |
| ·多帧相移法 | 第71页 |
| ·Hariharan相移法 | 第71-72页 |
| ·Carré相移法 | 第72-73页 |
| ·相位提取精度比较 | 第73-80页 |
| ·数据处理方法 | 第80-81页 |
| ·实验结果及分析 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第五章 大尺度结构测试方法 | 第85-109页 |
| ·大尺度台阶结构的变速扫描测量 | 第85-91页 |
| ·基于预定义模式的变速扫描 | 第86页 |
| ·基于自动对焦模式的变速扫描 | 第86-90页 |
| ·实验结果及分析 | 第90-91页 |
| ·基于纳米测量机的无重叠拼接测量 | 第91-93页 |
| ·白光倾斜扫描干涉测量 | 第93-107页 |
| ·测量原理 | 第94页 |
| ·CCD调整与标定 | 第94-97页 |
| ·数据条模式 | 第97-98页 |
| ·倾斜台配置形式和高度信息提取 | 第98-100页 |
| ·实验结果及分析 | 第100-104页 |
| ·测量结果讨论 | 第104-106页 |
| ·实验影响因素 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 第六章 基于图像分割的薄膜结构测试方法 | 第109-123页 |
| ·薄膜结构测试原理 | 第109-110页 |
| ·图像分割方法 | 第110-115页 |
| ·Otsu方法 | 第111-112页 |
| ·Kittler方法 | 第112-113页 |
| ·方法对比 | 第113-115页 |
| ·实验结果及分析 | 第115-119页 |
| ·噪声等级变化 | 第115页 |
| ·测量范围 | 第115-117页 |
| ·标准膜厚测试 | 第117-119页 |
| ·覆盖薄膜结构器件的测试 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-123页 |
| 第七章 总结与展望 | 第123-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
