Al、Sn复合掺杂的ZnO厚膜制备及其特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·气敏传感器的概述 | 第8-11页 |
| ·气敏传感器分类 | 第8-10页 |
| ·气敏传感器的主要性能指标 | 第10-11页 |
| ·ZnO气敏传感器的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文拟研究的主要内容及取得的成果 | 第12-14页 |
| 第二章 铝锡复合掺杂纳米ZnO材料制备 | 第14-26页 |
| ·ZnO纳米材料的基本性质 | 第14-15页 |
| ·纳米ZnO的制备方法 | 第15-17页 |
| ·金属有机物气相沉积 | 第15-16页 |
| ·喷雾热分解法 | 第16页 |
| ·水热合成法 | 第16页 |
| ·磁控溅射法 | 第16页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第16-17页 |
| ·沉淀法 | 第17页 |
| ·纳米ZnO材料的制备 | 第17-20页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第17-18页 |
| ·纳米材料制备工艺 | 第18-20页 |
| ·ZnO厚膜气敏元件制备 | 第20-21页 |
| ·本课题所用的测试仪器 | 第21-23页 |
| ·X射线衍射仪 | 第21页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第21-22页 |
| ·气敏元件测试系统 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-26页 |
| 第三章 铝锡复合掺杂氧化锌的表征与气敏特性 | 第26-38页 |
| ·铝锡复合掺杂ZnO厚膜的结构和形貌表征 | 第26-29页 |
| ·XRD分析 | 第26-28页 |
| ·SEM分析 | 第28-29页 |
| ·掺杂对气敏特性的影响 | 第29-31页 |
| ·Al掺杂量对气敏特性的影响 | 第29-30页 |
| ·Al-Sn共掺对气敏特性的影响 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31页 |
| ·退火温度对气敏特性的影响 | 第31-32页 |
| ·工作温度对气敏特性的影响 | 第32-33页 |
| ·不同浓度丙酮气体的气敏特性分析 | 第33-34页 |
| ·ATZO厚膜的长期稳定性分析 | 第34-35页 |
| ·气敏机理分析 | 第35-38页 |
| ·半导体金属氧化物气敏传感器的工作原理 | 第35-36页 |
| ·气敏机理分析 | 第36-38页 |
| 第四章 结论 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-44页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
