飞秒激光诱导硅和锗表面周期微纳条纹的研究
摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
1 绪论 | 第11-31页 |
·引言 | 第11页 |
·自然界生物的特殊功能表面 | 第11-18页 |
·自然界里常见的颜色 | 第11-15页 |
·大自然中特殊的功能表面 | 第15-18页 |
·短脉冲及超短脉冲激光与半导体相互作用 | 第18-24页 |
·短脉冲(纳秒)激光诱导半导体表面微结构 | 第18-20页 |
·超短脉冲(飞秒)激光诱导半导体表面微结构 | 第20-24页 |
·表面周期微纳条纹结构的性质 | 第24-29页 |
·表面改色 | 第24-25页 |
·防眩光 | 第25-26页 |
·摩擦学 | 第26-27页 |
·光放大和表面等离子体激元的增强 | 第27-29页 |
·本论文的目的和意义和主要研究内容 | 第29-31页 |
2 实验设备及测试方法 | 第31-35页 |
·实验设备 | 第31-33页 |
·飞秒振荡器 | 第31页 |
·1kHz飞秒脉冲激光系统 | 第31-32页 |
·电控三维平移台 | 第32-33页 |
·样品表征仪器 | 第33-34页 |
·扫描电子显微镜 | 第33页 |
·扫描探针显微镜 | 第33页 |
·能谱仪 | 第33-34页 |
·本章小结 | 第34-35页 |
3 飞秒激光诱导硅表面周期条纹的研究 | 第35-56页 |
·76MHz飞秒激光诱导硅表面周期条纹 | 第35-47页 |
·实验光路 | 第35-36页 |
·脉冲数对周期微纳条纹的影响 | 第36-38页 |
·能量密度对周期微纳条纹的影响 | 第38-40页 |
·偏振度对周期微纳条纹的影响 | 第40-41页 |
·修正的Sipe-Drude干涉理论 | 第41-47页 |
·1kHz飞秒激光诱导硅表面周期条纹 | 第47-54页 |
·实验光路 | 第47-48页 |
·脉冲数对周期微纳条纹的影响 | 第48-49页 |
·能量密度对周期微纳条纹的影响 | 第49-51页 |
·环境对周期微纳条纹的影响 | 第51-53页 |
·物理模型 | 第53-54页 |
·本章小结 | 第54-56页 |
4 飞秒激光诱导锗表面周期条纹的研究 | 第56-71页 |
·76MHz飞秒激光诱导锗表面周期条纹 | 第56-64页 |
·脉冲数对周期微纳条纹的影响 | 第56-58页 |
·能量密度对周期微纳条纹的影响 | 第58-59页 |
·扫描方向对周期微纳条纹的影响 | 第59-60页 |
·物理模型 | 第60-64页 |
·1kHz飞秒激光诱导锗表面周期条纹 | 第64-68页 |
·脉冲数对周期微纳条纹的影响 | 第64-65页 |
·能量密度对周期微纳条纹的影响 | 第65-67页 |
·波长对周期微纳条纹的影响 | 第67-68页 |
·飞秒激光在硅和锗表面形成周期条纹的比较 | 第68-70页 |
·本章小结 | 第70-71页 |
结论 | 第71-74页 |
致谢 | 第74-75页 |
参考文献 | 第75-85页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第85页 |