微靶高精度装配系统设计与误差分析
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题背景 | 第11-13页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第13-22页 |
| ·微装配系统国内外研究现状 | 第13-16页 |
| ·面向ICF靶组件的装配系统研究现状 | 第16-20页 |
| ·误差建模与分析国内外研究现状 | 第20-22页 |
| ·论文主要内容简介 | 第22-23页 |
| 第2章 面向靶球与诊断环组件的装配系统总体方案 | 第23-40页 |
| ·微装配系统概述 | 第23-29页 |
| ·微装配系统的装配对象 | 第24-25页 |
| ·微装配系统整体方案及功能 | 第25-27页 |
| ·正交双轴系空间定位子系统 | 第27-29页 |
| ·靶球与诊断环组件的夹持技术 | 第29-36页 |
| ·靶球与诊断环、填充管的夹持方案 | 第30-31页 |
| ·靶球吸附头参数设计 | 第31-33页 |
| ·靶球吸附头的可靠性分析 | 第33-36页 |
| ·靶球与诊断环组件的装配工艺 | 第36-38页 |
| ·微装配系统的控制方案 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 基于高精度对位检测仪的误差建模与分析 | 第40-54页 |
| ·高精度对位检测仪概述 | 第40-42页 |
| ·高精度对位检测仪的结构功能 | 第40-42页 |
| ·高精度对位检测仪的装配流程 | 第42页 |
| ·基于CCD相机对位系统的几何误差建模方法 | 第42-51页 |
| ·齐次坐标变换理论 | 第42-44页 |
| ·多体系统理论 | 第44-46页 |
| ·线性轴间的垂直度误差建模 | 第46-47页 |
| ·综合误差建模过程 | 第47-51页 |
| ·基于CCD相机对位系统的几何误差计算 | 第51-53页 |
| ·运动轴的几何误差参数 | 第51页 |
| ·基于CCD相机对位系统的运动误差计算 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 高精度对位检测仪的精度评估 | 第54-70页 |
| ·高精度对位检测仪的敏感自由度分析 | 第54-55页 |
| ·精密运动平台误差建模与分析 | 第55-61页 |
| ·运动平台综合误差建模 | 第55-56页 |
| ·精密运动平台几何误差参数分析 | 第56-57页 |
| ·典型误差测量方案及结果 | 第57-61页 |
| ·误差敏感度分析 | 第61-65页 |
| ·Sobol法原理 | 第61-62页 |
| ·多自由度精密运动平台误差灵敏度分析 | 第62-65页 |
| ·高精度对位检测仪的精度评估 | 第65-69页 |
| ·基于宏微结合的二维误差补偿方法 | 第65-67页 |
| ·高精度对位检测仪的系统精度分析 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 结论与展望 | 第70-73页 |
| ·本文主要研究工作总结 | 第70-71页 |
| ·本文的创新点 | 第71页 |
| ·建议与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
