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硬质合金刀具离子镀TiAlN镀层结构及性能研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-15页
第1章 绪论第15-26页
   ·引言第15页
   ·刀具涂层的发展第15-18页
     ·刀具涂层分类第15-16页
     ·刀具涂层材料第16-18页
   ·多弧离子镀技术第18-21页
     ·多弧离子镀原理第19-20页
     ·多弧离子镀的特点第20-21页
   ·TiAlN 涂层的发展和运用第21-23页
     ·国内外 TiAlN 涂层材料的应用第22页
     ·TiAlN 涂层的发展趋势第22-23页
   ·涂层残余应力的产生及摩擦磨损机理第23-24页
     ·残余应力第23页
     ·涂层磨损机理第23-24页
   ·本课题的研究目的、意义及主要内容第24-26页
     ·本课题的研究目的、意义第24页
     ·本课题研究的内容第24-26页
第2章 涂层制备及实验第26-39页
   ·试验材料及处理第26-27页
     ·实验基体材料第26页
     ·实验涂层材料第26-27页
     ·实验材料的镀前预处理第27页
   ·涂层的制备第27-30页
     ·多弧离子镀膜设备第27-29页
     ·试验工艺流程第29-30页
   ·涂层工艺的选择第30-32页
     ·影响涂层性能的镀膜工艺第30-31页
     ·正交试验第31-32页
   ·涂层性能测试实验第32-39页
     ·涂层微观组织分析第32-34页
     ·相组成及内部织构分析第34页
     ·微区成分分析第34-35页
     ·残余应力分析第35页
     ·涂层显微硬度分析第35-36页
     ·膜基结合性能分析第36-38页
     ·摩擦磨损实验第38-39页
第3章 涂层性能测试第39-52页
   ·基体和涂层的组织及表面微观形貌观察第39-41页
   ·不同工艺参数对薄膜表面形貌的影响第41-46页
     ·不同偏压下涂层的表面形貌第41-43页
     ·不同氮气分压下涂层表面形貌第43-44页
     ·不同沉积温度下涂层表面微观形貌第44-46页
   ·不同工艺参数对薄膜厚度的影响第46-50页
     ·偏压对薄膜厚度的影响第46-48页
     ·氮气分压对薄膜厚度的影响第48-50页
   ·本章小结第50-52页
第4章 TiAlN 离子镀膜层的力学性能和摩擦学特性第52-73页
   ·TiAlN 膜层硬度分析第52-53页
     ·正交试验显微硬度测试结果第52-53页
   ·不同工艺参数对薄膜显微硬度的影响第53-55页
     ·不同负偏压下膜层显微硬度第53-54页
     ·不同氮气分压膜层显微硬度第54页
     ·不同沉积温度下膜层显微硬度第54-55页
   ·TiAlN 膜层结合强度分析第55-59页
     ·正交试验膜/基结合力结果第55-56页
     ·不同负偏压下的膜/基结合力第56-57页
     ·不同氮气分压下的膜/基结合力第57-58页
     ·不同基体沉积温度下的膜/基结合力第58-59页
   ·TiAlN 膜层硬质合金刀具切削性能分析第59-69页
     ·切削试验方法第59-60页
     ·刀具的切削试验过程及结果第60-64页
     ·刀口磨损区域 EDS 分析第64-65页
     ·硬质合金刀具的磨损机理分析第65-66页
     ·涂层硬质合金刀具切削失效机理研究第66-69页
   ·TiAlN 膜层硬质合金刀具摩擦磨损性能第69-72页
     ·摩擦磨损实验方法第69页
     ·摩擦系数第69-71页
     ·磨痕形貌分析第71-72页
   ·本章小结第72-73页
第5章 TiAlN 离子镀膜层的残余应力分析第73-82页
   ·引言第73页
   ·涂层残余应力分析第73-76页
     ·残余应力的构成第73-75页
     ·涂层热应力计算第75-76页
   ·残余应力引起涂层开裂的临界条件第76-77页
     ·涂层的临界厚度第76-77页
     ·涂层的临界温度第77页
   ·涂层残余应力的 X 射线测定原理第77-79页
     ·布拉格方程第77-78页
     ·X 射线衍射法的测量原理第78-79页
   ·涂层残余应力的实验研究第79-81页
     ·涂层的制备第79页
     ·结果与讨论第79-81页
   ·本章小结第81-82页
结论第82-83页
参考文献第83-86页
攻读学位期间发表的学术论文第86-87页
致谢第87-88页
详细摘要第88-91页

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