| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-9页 |
| ·国内外红外干涉仪的发展现状 | 第9-13页 |
| ·国外红外干涉仪发展现状 | 第9-11页 |
| ·国内红外干涉仪发展现状 | 第11-13页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第13-15页 |
| ·课题来源 | 第13页 |
| ·研究内容 | 第13-15页 |
| 2 移相式斐索中波红外干涉仪光路方案设计和移相算法 | 第15-23页 |
| ·双三角型型红外干涉仪光路方案设计 | 第15-20页 |
| ·光束扩束准直系统 | 第16-17页 |
| ·对点测试双三角型成像光路 | 第17-18页 |
| ·红外标准球面透镜 | 第18-20页 |
| ·相位提取算法分析设计 | 第20-22页 |
| ·现有移相算法分析 | 第20-21页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪移相算法选择 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 移相式斐索中波红外干涉仪仪器调试与若干关键技术 | 第23-35页 |
| ·硬件参数选择 | 第23-25页 |
| ·干涉仪激光器 | 第23-24页 |
| ·干涉仪探测器 | 第24-25页 |
| ·装调方案及过程 | 第25-27页 |
| ·干涉仪移相器标定 | 第27-31页 |
| ·移相器自动在线标定原理 | 第27-29页 |
| ·中波红外干涉仪移相器非线性校正 | 第29-31页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪杂散光讨论 | 第31-34页 |
| ·保护玻璃引起杂散光条纹机理分析 | 第32-34页 |
| ·保护玻璃杂散光条纹处理 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 移相式斐索中波红外干涉仪应用研究 | 第35-50页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪检测非球面 | 第35-36页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪测量材料均匀性 | 第36-40页 |
| ·斐索式干涉仪检测材料均匀性原理 | 第36-38页 |
| ·中红外材料均匀性检测实例 | 第38-40页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪误差分析 | 第40-49页 |
| ·仪器干涉系统光学质量、重复性、最佳估计值 | 第40-42页 |
| ·不确定度 | 第42-45页 |
| ·移相式斐索中波红外干涉仪系统误差实测 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 总结与展望 | 第50-52页 |
| ·本文所做的工作 | 第50-51页 |
| ·本文主要创新点 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录 | 第56页 |