碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第1章 绪论	第7-13页
·碳纳米管气敏传感器微电极研究现状	第7-11页
·碳纳米管气敏传感器检测机理研究现状	第11页
·论文研究的主要内容	第11-13页
第2章 叉指微电极建模与参数优化设计	第13-25页
·引言	第13页
·叉指微电极材料的选取	第13-14页
·叉指微电极的结构仿真	第14-22页
·叉指微电极的结构参数优化	第22-25页
第3章 光刻技术制备叉指微电极	第25-34页
·微电极制备技术概述	第25-26页
·接触式光刻技术制备叉指微电极	第26-32页
·实验部分	第32-34页
第4章 碳纳米管气敏传感器微电极的检测	第34-41页
·叉指微电极的电化学检测实验	第34-37页
·碳纳米管薄膜修饰叉指微电极实验	第37-41页
第5章 碳纳米管气敏传感器气敏性能的检测	第41-56页
·光电检测系统的搭建	第41-45页
·相干检测及噪声处理	第45-50页
·碳纳米管气敏传感器气敏性能实验	第50-53页
·碳纳米管薄膜的光电性能检测实验	第53-56页
第6章 结论及展望	第56-57页
参考文献	第57-59页
致谢	第59页