| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第10-11页 |
| ·论文组织 | 第11-12页 |
| 第二章 薄膜体声波谐振器理论基础 | 第12-19页 |
| ·压电薄膜谐振器 | 第12-16页 |
| ·固体中的声波 | 第12-14页 |
| ·谐振器原型以及压电本构关系 | 第14-15页 |
| ·机电耦合 | 第15-16页 |
| ·薄膜体声波器件制造工艺 | 第16-19页 |
| 第三章 薄膜体声波谐振器建模 | 第19-35页 |
| ·Modified Butterworth-Van Dyke（MBVD）模型 | 第20-24页 |
| ·MBVD模型推导 | 第20-21页 |
| ·MBVD模型参数提取 | 第21-24页 |
| ·Mason模型 | 第24-30页 |
| ·非压电材料Mason模型 | 第24-26页 |
| ·压电材料的Mason模型 | 第26-27页 |
| ·谐振器的Mason模型 | 第27-30页 |
| ·薄膜体声波谐振器二维有限元分析 | 第30-35页 |
| ·有限元法 | 第30-31页 |
| ·薄膜体声波谐振器有限元分析 | 第31页 |
| ·散射曲线计算 | 第31-33页 |
| ·网格大小对波数K分辨率的影响 | 第33-35页 |
| 第四章 谐振器品质因子FOM（Figure of Merit) | 第35-43页 |
| ·有效机电耦合系数K_(t,eff) ~2 | 第35-37页 |
| ·谐振器Q的讨论 | 第37-39页 |
| ·谐振器Q值的计算 | 第39-43页 |
| ·Q值的定义 | 第39-40页 |
| ·Dicke法 | 第40-41页 |
| ·Bode法 | 第41-43页 |
| 第五章 压电材料机电耦合系数K_t~2提取 | 第43-51页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·基本原理 | 第44-49页 |
| ·实验结果 | 第49页 |
| ·结论 | 第49-51页 |
| 第六章 薄膜体声波滤波器设计 | 第51-68页 |
| ·薄膜体声波滤波器概述 | 第51-55页 |
| ·梯形滤波器 | 第51-53页 |
| ·平衡梯形滤波器 | 第53页 |
| ·栅格形滤波器 | 第53-55页 |
| ·薄膜体声波滤波器设计 | 第55-60页 |
| ·滤波器带宽与谐振器带宽关系 | 第55-56页 |
| ·滤波器的温度特性 | 第56-57页 |
| ·滤波器设计 | 第57-58页 |
| ·谐振器带宽扩展 | 第58-60页 |
| ·WCMDA Band I双工器设计 | 第60-68页 |
| ·双工器设计 | 第62-63页 |
| ·移相网络 | 第63-64页 |
| ·测试结果 | 第64-68页 |
| 第七章 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |