| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-21页 |
| ·MEMS 的基本概念 | 第14-16页 |
| ·MEMS 的应用领域 | 第16-17页 |
| ·MEMS 传感器的发展历程 | 第17-19页 |
| ·MEMS 传感器的技术背景 | 第17页 |
| ·国内外 MEMS 传感器的研究现状 | 第17-19页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS 加速度传感器的类型和工作原理 | 第21-30页 |
| ·MEMS 加速度传感器的类型 | 第21-25页 |
| ·压阻式 | 第21-22页 |
| ·电容式 | 第22-23页 |
| ·压电式 | 第23-24页 |
| ·隧道电流式 | 第24-25页 |
| ·谐振式 | 第25页 |
| ·MEMS 加速度传感器的基本原理 | 第25-28页 |
| ·工作原理 | 第25-26页 |
| ·线加速度传感器的基本数学模型 | 第26-27页 |
| ·摆式加速度传感器的基本数学模型 | 第27-28页 |
| ·MEMS 加速度传感器挠性梁的设计 | 第28-29页 |
| ·电容式加速度传感器结构选择 | 第29-30页 |
| ·梳齿式定齿均置结构 | 第29页 |
| ·梳齿式定齿偏置结构 | 第29-30页 |
| 第三章 MEMS 传感器的制备工艺 | 第30-39页 |
| ·集成电路工艺基础 | 第30-33页 |
| ·晶片清洗 | 第30-31页 |
| ·光刻工艺 | 第31-32页 |
| ·薄膜淀积 | 第32-33页 |
| ·体微加工技术 | 第33-35页 |
| ·湿法刻蚀 | 第33-34页 |
| ·干法刻蚀 | 第34页 |
| ·去胶 | 第34-35页 |
| ·表面微加工技术 | 第35页 |
| ·LIGA 技术 | 第35-36页 |
| ·MEMS 与 IC 工艺集成 | 第36-39页 |
| 第四章 梳齿结构力学分析 | 第39-51页 |
| ·卡西米尔力 | 第39-44页 |
| ·卡西米尔的概念 | 第39页 |
| ·金属板间的卡西米尔力及做功 | 第39-41页 |
| ·卡西米尔力对 MEMS 加速度传感器性能的影响 | 第41-44页 |
| ·静电场与电场力 | 第44-51页 |
| ·无限大平行板电容器模型 | 第45-46页 |
| ·非平行平板电容器的电容计算 | 第46-48页 |
| ·边缘效应 | 第48-50页 |
| ·边缘效应计算方法的对比与分析 | 第50-51页 |
| 第五章 Z 轴差分电容式加速度传感器的结构设计与分析 | 第51-63页 |
| ·结构设计与分析 | 第51-56页 |
| ·数学模型 | 第51-52页 |
| ·检测原理 | 第52-53页 |
| ·电容变化理论分析 | 第53-56页 |
| ·有限元分析 | 第56-63页 |
| ·结构尺寸及整体建模 | 第57-58页 |
| ·灵敏度仿真分析 | 第58-59页 |
| ·模态和谐响应分析 | 第59-63页 |
| 第六章 总结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第67-69页 |