| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-28页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·Sigma Delta 微加速度计接口电路国内外研究现状 | 第16-25页 |
| ·微弱电容检测电路 | 第16-18页 |
| ·微机电 Sigma Delta 调制技术 | 第18页 |
| ·数字闭环加速度计 | 第18-25页 |
| ·Sigma Delta 微加速度计接口电路研究存在的主要问题 | 第25-26页 |
| ·研究的目的和意义 | 第26-27页 |
| ·论文主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 高阶 Sigma Delta 微加速度计的原理与系统级设计 | 第28-52页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·敏感结构信号检测与静电力反馈 | 第28-33页 |
| ·敏感结构数学模型与信号检测 | 第28-32页 |
| ·敏感结构静电力反馈 | 第32-33页 |
| ·Sigma Delta 微加速度计基本结构 | 第33-37页 |
| ·Sigma Delta 调制原理 | 第34-36页 |
| ·Sigma Delta 微加速度计的基本结构 | 第36-37页 |
| ·高阶 Sigma Delta 微加速度计系统级设计 | 第37-45页 |
| ·高阶 Sigma Delta 微加速度计拓扑结构 | 第37-40页 |
| ·加速度计敏感结构离散化分析 | 第40-42页 |
| ·高阶 Sigma Delta 微加速度计初始系统参数设计 | 第42-45页 |
| ·高阶 Sigma Delta 微加速度计行为级仿真分析 | 第45-50页 |
| ·基本行为级分析 | 第45-47页 |
| ·带非理想特性的行为级分析 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第3章 高阶 Sigma Delta 微加速度计噪声与非线性分析 | 第52-77页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·噪声分析 | 第52-64页 |
| ·机械噪声分析 | 第52-53页 |
| ·电路噪声分析 | 第53-59页 |
| ·残留运动噪声模型 | 第59-62页 |
| ·噪声综合分析 | 第62-64页 |
| ·非线性分析 | 第64-76页 |
| ·积分器非线性分析 | 第65-68页 |
| ·敏感结构非线性分析 | 第68-69页 |
| ·静电力反馈非线性分析 | 第69-71页 |
| ·非线性综合分析 | 第71-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 高阶 Sigma Delta 微加速度计系统参数综合优化 | 第77-95页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·系统参数对噪声特性的影响 | 第77-80页 |
| ·系统参数对非线性特性的影响 | 第80-82页 |
| ·系统参数对稳定性的影响 | 第82-83页 |
| ·系统参数综合优化 | 第83-94页 |
| ·系统参数综合优化模型 | 第84-90页 |
| ·系统参数综合优化模型验证 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 高阶 Sigma Delta 微加速度计接口 ASIC 实现 | 第95-129页 |
| ·引言 | 第95页 |
| ·敏感结构电学模型 | 第95-97页 |
| ·接口 ASIC 芯片设计 | 第97-115页 |
| ·整体方案设计 | 第97-98页 |
| ·加速度计工作模式与时序设计 | 第98-101页 |
| ·电路模块设计 | 第101-113页 |
| ·芯片功耗分析 | 第113-115页 |
| ·综合模拟仿真与版图设计 | 第115-117页 |
| ·测试与分析 | 第117-127页 |
| ·芯片功能模块测试 | 第117-121页 |
| ·传感器综合测试 | 第121-127页 |
| ·本章小结 | 第127-129页 |
| 结论 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-141页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第141-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 个人简历 | 第144页 |
