| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·论文研究内容 | 第10-13页 |
| ·选题意义 | 第10-12页 |
| ·研究内容 | 第12页 |
| ·技术路线 | 第12-13页 |
| 第二章 氧化钒微测辐射热计的简要介绍 | 第13-22页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的工作原理 | 第13-17页 |
| ·热平衡方程 | 第14-16页 |
| ·未施加偏置时的热平衡方程 | 第16页 |
| ·施加直流偏置时的热平衡方程 | 第16-17页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的基本性能 | 第17-18页 |
| ·光学性能 | 第17页 |
| ·热学性能 | 第17页 |
| ·力学性能 | 第17-18页 |
| ·微测辐射热计的单元形状结构 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 微测辐射热计的性能计算及指标分解 | 第22-56页 |
| ·噪声等效温差 | 第22-24页 |
| ·光学参数对噪声等效温差的影响 | 第24-37页 |
| ·导纳矩阵法原理 | 第24-28页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的红外吸收模型建立与仿真 | 第28-37页 |
| ·热学参数对噪声等效温差的影响 | 第37-53页 |
| ·有限元分析方法及 IntelliSuite 软件 | 第38页 |
| ·微尺寸效应对探测器性能影响 | 第38-39页 |
| ·热流密度与热对流系数的计算 | 第39-43页 |
| ·热学性能仿真 | 第43-53页 |
| ·电学参数对噪声等效温差的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 微测辐射热计的力学性能仿真 | 第56-70页 |
| ·单层 L 型结构的力学仿真 | 第59-63页 |
| ·膜厚对力学性能的影响 | 第59-63页 |
| ·桥腿宽度对力学性能的影响 | 第63页 |
| ·双层伞型结构的力学仿真 | 第63-66页 |
| ·膜厚与腔高对力学性能的影响 | 第64-66页 |
| ·桥腿宽度对力学性能的影响 | 第66页 |
| ·双层 S 型结构的力学仿真 | 第66-69页 |
| ·膜厚对力学性能的影响 | 第67-68页 |
| ·桥腿宽度对力学性能的影响 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 结论与展望 | 第70-73页 |
| ·设计结果 | 第70-71页 |
| ·工作总结 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第78-79页 |