光学元件表面微缺陷可视化检测技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·缺陷检测的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·数字图像处理技术的介绍 | 第11-13页 |
| ·数字图像处理技术的历史 | 第11-12页 |
| ·数字图像处理技术的应用 | 第12-13页 |
| ·研究的内容 | 第13-14页 |
| 2 光学元件表面缺陷检测的显微成像法及其系统 | 第14-18页 |
| ·光学元件表面散射特性介绍 | 第14-16页 |
| ·光学元件表面的散射源 | 第14-15页 |
| ·光学元件表面各种散射源的散射情况分析 | 第15页 |
| ·缺陷检测中显微散射的应用 | 第15-16页 |
| ·光学显微成像系统 | 第16-18页 |
| 3 光学显微成像的硬件系统搭建和MATLAB应用 | 第18-28页 |
| ·光学显微成像的硬件系统搭建 | 第18-24页 |
| ·照明光源 | 第18-19页 |
| ·CCD摄像机 | 第19-21页 |
| ·图像采集卡 | 第21-24页 |
| ·MATLAB软件介绍和在数字图像处理中的应用 | 第24-28页 |
| ·MATLAB软件的介绍 | 第24-25页 |
| ·数字图像处理中的基本内容 | 第25-26页 |
| ·MATLAB在数字图像处理中的应用 | 第26-28页 |
| 4 光学元件表面光斑轮廓的检测 | 第28-39页 |
| ·光学元件表面激光光斑轮廓图像的采集 | 第28-29页 |
| ·光斑轮廓的数字图像处理 | 第29-37页 |
| ·轮廓图像的二值化分割 | 第30-33页 |
| ·二值图像的滤波 | 第33-37页 |
| ·元件表面光斑轮廓灰度值特征的提取及分级评定 | 第37-39页 |
| 5 光学元件表面麻点和划痕缺陷的检测 | 第39-55页 |
| ·光学元件表面缺陷的概述 | 第39-40页 |
| ·缺陷的种类 | 第39页 |
| ·缺陷的危害 | 第39-40页 |
| ·光学元件表面缺陷的图像处理过程 | 第40-47页 |
| ·图像的滤波 | 第40页 |
| ·图像中缺陷的分割 | 第40-46页 |
| ·图像中缺陷边缘的连接和区域的填充 | 第46页 |
| ·二值图像中缺陷的数学形态学滤波 | 第46-47页 |
| ·光学元件表面缺陷的特征提取 | 第47-54页 |
| ·缺陷图像中子缺陷的区域标记 | 第47-48页 |
| ·缺陷图像中子缺陷的图像特征 | 第48-54页 |
| ·光学元件表面缺陷检测的误差源分析 | 第54-55页 |
| 6 结论与展望 | 第55-58页 |
| ·结论 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
