| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-26页 |
| ·选题的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层的研究现状 | 第11-24页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层的基本概念 | 第11-13页 |
| ·典型太阳能选择性吸收涂层的吸收原理和相应膜系 | 第13-19页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层的制备方法 | 第19-24页 |
| ·本论文研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 实验方法 | 第26-34页 |
| ·样品制备 | 第26-30页 |
| ·镀膜设备 | 第26-27页 |
| ·退火处理设备和工艺 | 第27-28页 |
| ·基体材料 | 第28页 |
| ·薄膜沉积工艺 | 第28-30页 |
| ·薄膜样品表征 | 第30-34页 |
| ·薄膜相组成表征 | 第30页 |
| ·薄膜表面形貌表征 | 第30-31页 |
| ·薄膜成分和化学结合状态表征 | 第31页 |
| ·薄膜透过率与反射率的测量 | 第31-32页 |
| ·薄膜光学常数的测量 | 第32-33页 |
| ·选择性吸收涂层半球发射率的测量 | 第33-34页 |
| 第3章 AlN 薄膜制备和高温稳定性研究 | 第34-52页 |
| ·离子/原子到达比对 AlN 薄膜结构和光学性能的影响 | 第34-41页 |
| ·离子/原子到达比对 AlN 薄膜的相结构的影响 | 第34-35页 |
| ·AlN 薄膜成分和各个元素化学结合状态分析 | 第35-38页 |
| ·离子/原子到达比对薄膜表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| ·离子/原子到达比对薄膜光学性能的影响 | 第39-41页 |
| ·AlN 膜的高温稳定性研究 | 第41-50页 |
| ·退火前后 AlN 薄膜的化学结合状态分析 | 第41-44页 |
| ·退火前后薄膜成分的深度方向的变化 | 第44-45页 |
| ·退火对 AlN 薄膜相结构的影响 | 第45-46页 |
| ·退火对薄膜表面成分的影响 | 第46-47页 |
| ·退火对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第47-49页 |
| ·退火对 AlN 薄膜光学性能的影响 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 Ni-AlN 复合膜的制备和高温稳定性研究 | 第52-67页 |
| ·镍靶溅射束流对 Ni-AlN 复合膜结构和光学性能的影响 | 第52-59页 |
| ·镍靶溅射束流对 Ni-AlN 复合膜的成分影响 | 第52-53页 |
| ·Ni-AlN 复合膜的化学结合状态分析 | 第53-57页 |
| ·镍靶溅射束流制备的 Ni-AlN 复合膜相结构的影响 | 第57页 |
| ·镍靶溅射束流对 Ni-AlN 复合膜的表面形貌影响 | 第57-58页 |
| ·镍靶溅射束流对 Ni-AlN 复合膜的光学常数的影响 | 第58-59页 |
| ·Ni-AlN 复合膜的热稳定性 | 第59-65页 |
| ·Ni-AlN 复合膜退火之后化学结合状态分析 | 第60-62页 |
| ·退火前后薄膜中氧含量的变化 | 第62-63页 |
| ·退火对 Ni-AlN 复合膜相结构的影响 | 第63-64页 |
| ·退火对 Ni-AlN 复合膜膜的表面形貌的影响 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 Ni-AlN 选择性吸收涂层光热转换性能和高温稳定性研究 | 第67-78页 |
| ·膜层的理论设计和优化 | 第67-73页 |
| ·退火对 Ni-AlN 选择性吸收涂层光热转换性能的影响 | 第73-74页 |
| ·退火后 Ni-AlN 选择性吸收涂层光热转换性能变化的原因探讨 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第6章 结论 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 个人简历 | 第86-87页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第87-88页 |
| 程序源代码 | 第88-89页 |
