中频磁控溅射Ti-DLC太阳能选择性吸收涂层
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层研究现状 | 第11-17页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层概述 | 第11-13页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层的基本原理 | 第13-14页 |
| ·太阳能选择性吸收涂层的制备方法 | 第14-17页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第17-20页 |
| ·类金刚石的结构 | 第17-19页 |
| ·类金刚石的应用 | 第19-20页 |
| ·选题依据 | 第20-22页 |
| ·论文的研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验装置和实验方法 | 第23-29页 |
| ·实验设备 | 第23-24页 |
| ·实验方法 | 第24-26页 |
| ·基体材料及预处理 | 第24页 |
| ·DLC 薄膜的制备工艺 | 第24-25页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的制备工艺 | 第25-26页 |
| ·薄膜表征 | 第26-29页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第26页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第26页 |
| ·三维白光表面轮廓仪 | 第26-27页 |
| ·拉曼光谱分析仪(Raman) | 第27页 |
| ·椭偏仪 | 第27页 |
| ·UV-VIS-NIR 分光光度计 | 第27页 |
| ·傅立叶变换红外光谱仪 | 第27-29页 |
| 第3章 DLC 薄膜的结构与性能研究 | 第29-47页 |
| ·电流对薄膜的影响 | 第29-37页 |
| ·电流对薄膜结构的影响 | 第29-32页 |
| ·电流对薄膜表面形貌和沉积速率的影响 | 第32-35页 |
| ·电流对薄膜光学性能的影响 | 第35-37页 |
| ·Ar 流量对薄膜的影响 | 第37-43页 |
| ·Ar 流量对薄膜结构的影响 | 第37-39页 |
| ·Ar 流量对薄膜表面形貌和沉积速率的影响 | 第39-43页 |
| ·Ar 流量对薄膜光学性能的影响 | 第43页 |
| ·最佳工艺制备的 DLC 薄膜 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 Ti 掺杂 DLC 薄膜的结构与性能研究 | 第47-60页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的结构和成分 | 第47-52页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的成分 | 第47-48页 |
| ·XRD 分析 | 第48-49页 |
| ·Raman 光谱分析 | 第49-52页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的表面形貌和沉积速率 | 第52-56页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的表面形貌 | 第52-54页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的沉积速率 | 第54-56页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的光学性能 | 第56-59页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的反射率 | 第56页 |
| ·Ti-DLC 薄膜的光学常数 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 Ti-DLC 太阳能选择性涂层优化设计 | 第60-66页 |
| ·金属红外反射层的选择 | 第60-61页 |
| ·多层膜优化设计 | 第61-64页 |
| ·复合 Ti-DLC 涂层的吸收机理 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 个人简历 | 第75-76页 |
| 在学期间研究成果 | 第76页 |
