| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 综述 | 第10-21页 |
| ·常见的低温等离子体源 | 第10-14页 |
| ·感性耦合等离子体源 | 第10-11页 |
| ·电子回旋共振等离子体源 | 第11-12页 |
| ·容性耦合等离子体源 | 第12-14页 |
| ·等离子体的诊断方法 | 第14-21页 |
| ·探针 | 第14页 |
| ·质谱法 | 第14-15页 |
| ·光谱法 | 第15页 |
| ·激光诱导荧光法 | 第15页 |
| ·光腔衰荡 | 第15-17页 |
| ·发射光谱 | 第17-18页 |
| ·吸收光谱 | 第18-19页 |
| ·可调二极管激光器吸收光谱诊断技术 | 第19-21页 |
| 2 实验部分 | 第21-31页 |
| ·实验原理 | 第21页 |
| ·吸收光谱谱线的选择 | 第21-22页 |
| ·实验装置流程图 | 第22-31页 |
| ·CCP等离子体放电装置 | 第22-23页 |
| ·可调二极管激光器 | 第23页 |
| ·吸收光谱诊断系统 | 第23-24页 |
| ·实验流程 | 第24-31页 |
| 3 Ar亚稳态温度的吸收光谱诊断 | 第31-39页 |
| ·气体温度的计算 | 第31-33页 |
| ·Ar亚稳态温度随功率的变化 | 第33-34页 |
| ·Ar亚稳态温度随气压的变化 | 第34-35页 |
| ·电负性O_2对Ar亚稳态温度的影响 | 第35-36页 |
| ·频率对Ar亚稳态温度的影响 | 第36-39页 |
| 4 Ar亚稳态数密度的吸收光谱诊断 | 第39-53页 |
| ·Ar亚稳态数密度的计算方法 | 第39-40页 |
| ·功率对CCP等离子体中Ar亚稳态数密度的影响 | 第40-41页 |
| ·压力对CCP等离子体中Ar亚稳态数密度的影响 | 第41-42页 |
| ·电负性气体O_2对CCP等离子体中Ar亚稳态数密度的影响 | 第42-46页 |
| ·电极间距对CCP等离子体中Ar亚稳态数密度的影响 | 第46-48页 |
| ·双频CCP中高频和低频对CCP等离子体中Ar亚稳态数密度的影响 | 第48-53页 |
| 5 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
