(Pb,La)(Zr,Ti)O3铁电阵列的制备及其性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1. 文献综述 | 第7-19页 |
| ·PLZT铁电薄膜研究概述 | 第7-10页 |
| ·PLZT简介 | 第7-8页 |
| ·研究现状 | 第8-10页 |
| ·铁电薄膜阵列研究 | 第10-14页 |
| ·制备技术 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-12页 |
| ·阵列应用 | 第12-14页 |
| ·尺寸效应 | 第14-16页 |
| ·厚度尺寸 | 第14-15页 |
| ·格点尺寸 | 第15-16页 |
| ·单元性能测试 | 第16-17页 |
| ·研究目的与主要内容 | 第17-19页 |
| 2. 实验方案设计 | 第19-27页 |
| ·实验方案设计 | 第19-20页 |
| ·实验设备 | 第20-24页 |
| ·薄膜及阵列制备设备 | 第20-21页 |
| ·薄膜分析设备 | 第21-22页 |
| ·形貌分析设备 | 第22-23页 |
| ·性能分析设备 | 第23-24页 |
| ·试剂选择 | 第24-27页 |
| 3. PLZT铁电薄膜制备及性能研究 | 第27-35页 |
| ·前言 | 第27页 |
| ·薄膜制备 | 第27-30页 |
| ·溶胶配制 | 第27-29页 |
| ·铁电薄膜制备 | 第29-30页 |
| ·薄膜结构及性能研究 | 第30-34页 |
| ·晶体结构 | 第30-31页 |
| ·铁电性能 | 第31-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 4. PLZT感光薄膜及阵列的制备 | 第35-49页 |
| ·前言 | 第35页 |
| ·凝胶膜感光性分析 | 第35-38页 |
| ·紫外—可见光光谱分析 | 第35-37页 |
| ·红外光谱分析 | 第37-38页 |
| ·PLZT铁电阵列制备 | 第38-43页 |
| ·紫外掩模法 | 第38-40页 |
| ·激光干涉法 | 第40-43页 |
| ·格点性能测试及分析 | 第43-46页 |
| ·小结 | 第46-49页 |
| 5. 模板组装法制备 PLZT铁电阵列 | 第49-55页 |
| ·前言 | 第49页 |
| ·PLZT铁电阵列制备 | 第49-52页 |
| ·格点性能测试及分析 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 6. 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第63页 |