| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·背景和介绍 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国外高性能运动控制技术的研究现状 | 第12页 |
| ·国内高性能运动控制技术的研究现状 | 第12-13页 |
| ·高性能运动控制技术的发展趋势 | 第13-14页 |
| ·运动系统控制策略 | 第14-17页 |
| ·本文的选题依据及意义 | 第17-18页 |
| ·本文的选题依据 | 第17页 |
| ·本文的研究意义 | 第17-18页 |
| ·本文的研究内容、设计目标及工作安排 | 第18-20页 |
| ·研究内容 | 第18页 |
| ·设计目标 | 第18页 |
| ·工作安排 | 第18-20页 |
| 第二章 大口径光学元件激光预处理系统运动平台 | 第20-30页 |
| ·运动控制的功能 | 第20-22页 |
| ·大口径光学元件激光预处理系统的功能简介 | 第20-21页 |
| ·运动控制部分在系统中的作用 | 第21-22页 |
| ·运动控制的组成 | 第22-24页 |
| ·视觉系统运载平台 | 第22-23页 |
| ·二维光学元件运载平台 | 第23-24页 |
| ·伺服控制系统 | 第24-25页 |
| ·伺服电机 | 第24-25页 |
| ·光栅尺 | 第25页 |
| ·运动控制平台搭建 | 第25-29页 |
| ·视觉系统运载平台搭建 | 第25-26页 |
| ·光学元件运载平台搭建 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件设计 | 第30-49页 |
| ·大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件结构 | 第30-35页 |
| ·大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件模块 | 第30-32页 |
| ·大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件界面 | 第32-35页 |
| ·大口径光学元件激光预处理系统运动控制软件流程及实现 | 第35-48页 |
| ·原点校正 | 第35-36页 |
| ·激光预处理过程的流程及实现 | 第36-41页 |
| ·缺陷扫描与分析过程的运动控制软件流程 | 第41-45页 |
| ·缺陷修复过程的运动控制软件流程 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 速度控制算法设计 | 第49-56页 |
| ·速度控制算法 | 第49-53页 |
| ·T 型曲线模式 | 第49-51页 |
| ·S 型曲线模式 | 第51-53页 |
| ·速度与加速度的选择 | 第53-55页 |
| ·激光预处理过程的运动速度控制 | 第53-54页 |
| ·缺陷扫描与分析过程的运动速度控制 | 第54-55页 |
| ·缺陷修复过程的运动速度控制 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 精度控制算法设计 | 第56-68页 |
| ·运动误差分析 | 第56-57页 |
| ·构件误差 | 第56页 |
| ·运动误差 | 第56-57页 |
| ·伺服控制方式 | 第57-63页 |
| ·半闭环控制系统 | 第58-60页 |
| ·全闭环控制系统 | 第60-62页 |
| ·双闭环控制系统 | 第62-63页 |
| ·降低激光预处理系统运动误差 | 第63-67页 |
| ·运动方式的改进 | 第63-65页 |
| ·误差校正 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75-76页 |