四叶片微陀螺结构设计与加工工艺研究
| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第14-15页 |
| ·国外微陀螺研究现状 | 第15-19页 |
| ·国内微陀螺研究现状 | 第19-21页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 四叶片微陀螺的基本原理 | 第23-36页 |
| ·四叶片微陀螺的基本结构及工作原理 | 第23-27页 |
| ·微陀螺的基本结构 | 第23-25页 |
| ·微陀螺的工作原理 | 第25-27页 |
| ·四叶片微陀螺动力学模型及灵敏度分析 | 第27-31页 |
| ·微陀螺动力学模型 | 第27-29页 |
| ·微陀螺灵敏度分析 | 第29-31页 |
| ·四叶片微陀螺空气阻尼分析 | 第31-35页 |
| ·大气环境下的压膜阻尼分析 | 第32-33页 |
| ·减小空气阻尼的措施 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 四叶片微陀螺结构分析与设计 | 第36-49页 |
| ·微陀螺支撑结构分析 | 第36-39页 |
| ·支撑结构的基本形式及设计原则 | 第36-38页 |
| ·支撑结构对微陀螺工作模态的影响 | 第38-39页 |
| ·微陀螺主要结构参数设计 | 第39-44页 |
| ·硅结构主要尺寸确定 | 第39-42页 |
| ·惯性质量棒主要尺寸确定 | 第42-43页 |
| ·玻璃基板及金属电极主要尺寸确定 | 第43-44页 |
| ·微陀螺主要结构参数误差对频率的影响 | 第44-48页 |
| ·硅结构加工误差对振动模态频率的影响 | 第44-46页 |
| ·惯性质量棒加工误差对振动模态频率的影响 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 四叶片微陀螺加工工艺 | 第49-65页 |
| ·微陀螺加工工艺流程 | 第50页 |
| ·硅结构加工工艺 | 第50-55页 |
| ·一般结构减薄工艺存在的问题 | 第50-52页 |
| ·预埋掩模湿法腐蚀工艺 | 第52-54页 |
| ·实验结果分析 | 第54-55页 |
| ·玻璃基板加工工艺 | 第55-58页 |
| ·玻璃基板湿法刻蚀和金属电极制备 | 第55-57页 |
| ·紫外激光划片工艺 | 第57页 |
| ·实验结果分析 | 第57-58页 |
| ·惯性质量棒及支撑底座加工工艺 | 第58-59页 |
| ·惯性质量棒加工工艺 | 第58-59页 |
| ·支撑底座加工工艺 | 第59页 |
| ·微陀螺的装配 | 第59-63页 |
| ·微陀螺装配的主要工艺步骤 | 第59-61页 |
| ·微陀螺装配存在的主要问题及解决方案 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 四叶片微陀螺性能测试 | 第65-76页 |
| ·微陀螺静态电容测试 | 第65-67页 |
| ·微弱电容测试系统 | 第65页 |
| ·静态电容测试结果 | 第65-67页 |
| ·微陀螺模态测试 | 第67-72页 |
| ·微陀螺模态测试的基本原理 | 第68-69页 |
| ·微陀螺模态测试结果 | 第69-72页 |
| ·微陀螺哥氏力测试 | 第72-74页 |
| ·哥氏力测试系统 | 第72-73页 |
| ·哥氏力测试结果 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76-77页 |
| ·研究展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第86-87页 |
