| 摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| 第一节 选题的意义及目的 | 第7页 |
| 第二节 课题的主要工作及技术要点 | 第7-8页 |
| 第三节 论文章节构成 | 第8-9页 |
| 第二章 Flash简介 | 第9-16页 |
| 第一节 半导体存储器概述 | 第9-10页 |
| 第二节 半导体存储器的主要特征及技术要点 | 第10-11页 |
| 第三节 Flash闪存的分类 | 第11-15页 |
| 第四节 Flash闪存的发展趋势 | 第15-16页 |
| 第三章 SST SuperFlash简介 | 第16-23页 |
| 第一节 Super Flash & Split-Gate Cell | 第16-17页 |
| 第二节 SurperFlash的技术演变 | 第17-18页 |
| 第三节 基本工作原理 | 第18-20页 |
| 第四节 简单的阵列结构及设计 | 第20-21页 |
| 第五节 Super Flash的优点 | 第21-23页 |
| 第四章 电荷泵高压的失效分析 | 第23-29页 |
| 第一节 Flash的测试流程 | 第23-24页 |
| 第二节 Flash的电荷泵高压失效现象 | 第24-25页 |
| 第三节 Flash的电荷泵高压失效电性分析 | 第25-28页 |
| 第四节 Flash的电荷泵高压失效的制程分析 | 第28-29页 |
| 第五章 电荷泵高压系统电路原理与分析 | 第29-33页 |
| 第一节 概述 | 第29页 |
| 第二节 高压电荷泵电路系统 | 第29-30页 |
| 第三节 高压电荷泵电路 | 第30-32页 |
| 第四节 高压电荷泵电路的失效机理 | 第32-33页 |
| 第六章 工艺制程的改善 | 第33-36页 |
| 第一节 工艺电性参数 | 第33页 |
| 第二节 工艺实验的设计与实验结果 | 第33-36页 |
| 第七章 电荷泵高压测试的优化 | 第36-39页 |
| 第一节 优化前的Flash高压电荷泵测试 | 第36页 |
| 第二节 优化后的Flash高压电荷泵测试 | 第36-39页 |
| 第八章 总结 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 附录 | 第41-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |