| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·概述 | 第11页 |
| ·脉冲阴极弧电源的发展及现状 | 第11-13页 |
| ·脉冲阴极弧电源的应用 | 第13-16页 |
| ·脉冲阴极弧源存在的问题 | 第16-17页 |
| 第二章 脉冲阴极弧放电及辉光放电 | 第17-27页 |
| ·电弧的基本概念 | 第17-18页 |
| ·弧斑的放电机理及其特征 | 第18-23页 |
| ·阴极弧及其伏安特性曲线 | 第23-26页 |
| ·脉冲电源结构的设想 | 第26-27页 |
| 第三章 脉冲阴极弧电源的设计与搭建 | 第27-60页 |
| ·高压脉冲大电流电源的设计 | 第27-47页 |
| ·触发装置的设计 | 第47-56页 |
| ·真空制膜系统 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第四章 弧光放电参数测量和薄膜制备 | 第60-75页 |
| ·放电参数的测量 | 第60-64页 |
| ·实验装置 | 第64-65页 |
| ·脉冲阴极弧镀膜 | 第65-73页 |
| ·实验结果 | 第73-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |