射频容性耦合等离子体物理特性的PIC/MCC模拟研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-16页
·低温等离子体刻蚀的研究背景和意义	第8-9页
·射频容性耦合等离子体研究现状	第9-13页
·离子能量分布和角度分布的研究进展	第13-14页
·本文内容简介及结构安排	第14-16页
2 PIC/MCC模拟理论	第16-30页
·粒子模拟(PIC)理论	第16-25页
·粒子模拟的基本思想和要点	第16-18页
·粒子模拟的技巧	第18-20页
·笛卡尔坐标系下的一维静电场模型	第20-23页
·有界等离子体模拟	第23-25页
·MCC模型	第25-30页
·MC技术	第25-26页
·零碰撞法	第26-29页
·PIC/MCC计算流程	第29-30页
3 二维单频容性耦合放电模拟研究	第30-44页
·引言	第30页
·模型建立	第30-32页
·等离子体参数结果与讨论	第32-39页
·一定外部条件下的放电结果分析	第32-36页
·不同外部条件下的放电结果分析	第36-39页
·能量分布和角度分布结果分析	第39-44页
4 一维双频容性耦合放电模拟研究	第44-49页
·引言	第44-45页
·模型建立	第45-46页
·模拟结果分析	第46-49页
结论	第49-50页
参考文献	第50-53页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第53-54页
致谢	第54-55页