基于PMMA波导的乐甫波器件特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·超声波模式 | 第11-18页 |
| ·超声波模式的分类 | 第11-16页 |
| ·体声波模式 | 第12-13页 |
| ·瑞利波模式 | 第13页 |
| ·板波模式 | 第13-14页 |
| ·表面浅体波模式 | 第14页 |
| ·超声波模式的比较 | 第14-16页 |
| ·超声波传感器的应用 | 第16-18页 |
| ·声表面波有机膦气体传感器的发展现状 | 第18-21页 |
| ·瑞利波传感器 | 第18-19页 |
| ·乐甫波传感器 | 第19-21页 |
| ·本文研究的主要内容及意义 | 第21-23页 |
| ·本课题的研究意义 | 第21页 |
| ·研究的内容 | 第21-23页 |
| 第二章 乐甫波器件的基本原理和结构 | 第23-36页 |
| ·乐甫波器件的介绍 | 第23-24页 |
| ·乐甫波器件的理论 | 第24-32页 |
| ·乐甫波的声波场理论 | 第24-25页 |
| ·乐甫波器件的理论分析 | 第25-32页 |
| ·乐甫波器件波导和基片材料 | 第32-36页 |
| ·聚合物波导 | 第32-33页 |
| ·无机波导 | 第33-34页 |
| ·复合波导和梯度波导 | 第34-35页 |
| ·基片材料 | 第35-36页 |
| 第三章 SSBW 器件的设计和制备工艺研究 | 第36-42页 |
| ·实验测试仪器及试剂 | 第36页 |
| ·谐振型声表面波器件的设计原理 | 第36-38页 |
| ·谐振型SSBW 器件的设计 | 第38-39页 |
| ·SSBW 器件的制作工艺流程 | 第39-41页 |
| ·SSBW 器件的频谱特性 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 波导层制备工艺的研究 | 第42-55页 |
| ·实验测试仪器及试剂 | 第42页 |
| ·聚合物波导层制备的传统工艺 | 第42-43页 |
| ·旋涂工艺改良的思路 | 第43-44页 |
| ·薄膜平整度的比较 | 第44-46页 |
| ·改良旋涂工艺的各种控制参数 | 第46-53页 |
| ·传统旋涂工艺的成膜过程及其各种参数 | 第46-47页 |
| ·溶液浓度与膜厚的关系 | 第47页 |
| ·旋转速度、次数与膜厚的关系 | 第47-52页 |
| ·低速档与膜厚的关系 | 第48-50页 |
| ·高速档与膜厚的关系 | 第50-51页 |
| ·旋涂次数与膜厚的关系 | 第51-52页 |
| ·台阶高度、间距与膜厚的关系 | 第52-53页 |
| ·台阶高度与膜厚的关系 | 第52-53页 |
| ·台阶间距与膜厚的关系 | 第53页 |
| ·PMMA 波导层旋涂工艺的最终方案 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 谐振型乐甫波器件的特性研究 | 第55-60页 |
| ·实验测试仪器及试剂 | 第55页 |
| ·乐甫波器件各项特性 | 第55-59页 |
| ·频率 | 第55-56页 |
| ·插损 | 第56-57页 |
| ·Q 值 | 第57-58页 |
| ·质量灵敏度 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论及展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第67-68页 |
