| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 致谢 | 第10-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-31页 |
| ·纳米测量微型探头研究的目的与意义 | 第20-21页 |
| ·相关研究总结 | 第21-29页 |
| ·本研究内容的难点与关键技术 | 第29-31页 |
| 第二章 DVD激光读取头元件介绍 | 第31-42页 |
| ·DVD激光读取头相关知识简介 | 第31-33页 |
| ·DVD激光头组件 | 第33-42页 |
| 第三章 DVD激光读取头运作原理 | 第42-49页 |
| ·DVD激光头光学原理 | 第42-43页 |
| ·激光探头系统测量原理 | 第43-49页 |
| 第四章 FES探头系统测试与应用 | 第49-69页 |
| ·探头校正结构设计 | 第49-54页 |
| ·FES探头系统的重复定位与稳定性测试 | 第54页 |
| ·探头测量应用 | 第54-57页 |
| ·测量系统架设 | 第57页 |
| ·测试与标定结果 | 第57页 |
| ·PTB标准阶高的标定 | 第57-60页 |
| ·各种样品的测试结果 | 第60-61页 |
| ·探头归一化S曲线 | 第61-63页 |
| ·不同反射率表面归一化S曲线比较 | 第63-68页 |
| ·实际样品测量 | 第68-69页 |
| 第五章 自动聚焦探头系统辨识与控制 | 第69-83页 |
| ·系统结构简介 | 第69-70页 |
| ·系统辨识 | 第70-72页 |
| ·自动聚焦控制器设计 | 第72-74页 |
| ·PID参数调整 | 第74-75页 |
| ·积分平方误差法(ISE) | 第75-78页 |
| ·控制器仿真结果 | 第78-80页 |
| ·PID控制器实作 | 第80页 |
| ·音圈马达自动控制驱动器实作 | 第80-83页 |
| 第六章 自动聚焦探头系统磁滞研究 | 第83-96页 |
| ·磁滞现象与研究 | 第83-85页 |
| ·系统磁滞补偿 | 第85-91页 |
| ·系统磁滞模型补偿 | 第91-93页 |
| ·自动聚焦探头的重复性分析 | 第93-95页 |
| ·自动聚焦系统的分析与讨论 | 第95-96页 |
| 第七章 自动聚焦探头反馈控制与整 | 第96-114页 |
| ·光学干涉原理简介 | 第96-97页 |
| ·光学干涉条纹的对比度 | 第97-99页 |
| ·Michelson干涉仪原理简介 | 第99-103页 |
| ·微型干涉仪的组件介绍 | 第103-104页 |
| ·微型Michelson干涉仪传感器原理与分析 | 第104-105页 |
| ·微型偏振Michelson干涉仪Jones矩阵推导 | 第105-107页 |
| ·Micheson干涉仪信号处理 | 第107-108页 |
| ·微型迈克升干涉仪校正 | 第108-109页 |
| ·自动聚焦探头整合与测试 | 第109页 |
| ·微型Michelson干涉仪的误差分析 | 第109-112页 |
| ·微型Michelson干涉仪的误差对电信号的影响 | 第112-114页 |
| 第八章 接触触发式探头系统研究 | 第114-123页 |
| ·接触式探头的设计与组装 | 第114-115页 |
| ·光学传感器的改装与分析 | 第115-116页 |
| ·探头机械悬挂机构介绍 | 第116-117页 |
| ·探头力模型分析与测量 | 第117-118页 |
| ·探头测量预程分析与测量 | 第118-121页 |
| ·接触式探头系统的误差分析 | 第121-123页 |
| 第九章 总结与展望 | 第123-126页 |
| ·主要工作总结与成果 | 第123-124页 |
| ·未来工作展望 | 第124-126页 |
| 附件A: S曲线的理论推导与模拟 | 第126-129页 |
| 附件B: DSP开发板系统简介与控制程序 | 第129-134页 |
| 附件C: 阶高标定数据图 | 第134-146页 |
| 参考文献 | 第146-151页 |
| 作者在攻读博士论文期间论文与专利 | 第151-152页 |