cMUT的设计与仿真

内容提要	第1-7页
第一章 绪论	第7-25页
·MEMS 的研究现状	第7-11页
·cMUT 的研究现状	第11-23页
·本课题的研究意义与主要工作	第23-25页
第二章 cMUT 的理论基础	第25-39页
·超声波的传播特性	第25-26页
·超声波的特征量	第26-29页
·超声波垂直入射到单一平界面上的反射和透射	第29-31页
·圆盘超声声源的纵波声场分析	第31-33页
·矩形超声声源的纵波声场分析	第33-34页
·cMUT 的结构及工作原理	第34-35页
·cMUT 的等效电路	第35-39页
第三章 cMUT 的结构设计	第39-52页
·cMUT 的结构设计分析	第39-46页
·三种cMUT 的结构设计	第46-49页
·cMUT 的模态分析	第49-52页
第四章 cMUT 的模态分析及力电耦合分析和仿真	第52-62页
·仿真方法介绍	第52-55页
·力电耦合仿真分析	第55-62页
第五章 cMUT 的工艺设计与实现	第62-74页
·cMUT 的工艺流程	第62-67页
·cMUT 的光刻板设计	第67-74页
第六章 全文总结	第74-75页
·结论	第74页
·后续研究	第74-75页
参考文献	第75-76页
附录:力电耦合分析步骤	第76-80页
中文摘要	第80-81页
英文摘要	第81-83页
致谢	第83-84页