外差干涉椭圆偏振测量的理论与实验研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 综述 | 第8-27页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第8-9页 |
| ·薄膜测量方法概述 | 第9-10页 |
| ·椭偏测量术特点 | 第10-11页 |
| ·椭偏测量技术的产生与发展 | 第11-13页 |
| ·椭偏测量基本原理 | 第13-14页 |
| ·椭偏测量系统类型 | 第14-21页 |
| ·干涉椭偏测量技术 | 第21-24页 |
| ·椭偏测量技术发展趋势 | 第24-25页 |
| ·本论文研究意义及主要内容 | 第25-27页 |
| 第二章 外差干涉椭圆偏振测量原理及光学系统设计 | 第27-42页 |
| ·模型的选取 | 第27页 |
| ·椭偏参数灵敏度分析 | 第27-35页 |
| ·外差椭偏测量光学系统及原理分析 | 第35-39页 |
| ·外差干涉式椭偏测量技术特点分析与总结 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 干涉式椭偏测量实验系统设计 | 第42-59页 |
| ·塞曼激光源 | 第42-43页 |
| ·稳频方法与实验 | 第43-49页 |
| ·信号采集与处理 | 第49页 |
| ·测相电路 | 第49-54页 |
| ·声光调制器实验系统 | 第54-56页 |
| ·反演算法 | 第56-59页 |
| 第四章 实验结果与误差分析 | 第59-66页 |
| ·实验系统 | 第59-60页 |
| ·实验数据及分析 | 第60-63页 |
| ·入射角误差 | 第63-64页 |
| ·拍频稳定度对测量的影响 | 第64页 |
| ·直接比相法原理误差 | 第64-65页 |
| ·环境参数的变化对测量的影响 | 第65-66页 |
| 第五章 透射式外差椭偏测量混频误差分析 | 第66-73页 |
| ·混频误差解析式推导 | 第66-68页 |
| ·混频误差数值计算与讨论 | 第68-73页 |
| 第六章 塞曼激光外差椭偏系统非线性混频误差研究 | 第73-86页 |
| ·反射式外差椭偏混频误差解析表达 | 第73-75页 |
| ·误差评价因子 | 第75-76页 |
| ·误差计算与讨论 | 第76-81页 |
| ·1/4 波片的影响 | 第81-82页 |
| ·塞曼激光偏振特性研究 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第七章 论文总结与展望 | 第86-90页 |
| ·论文创新点 | 第86-87页 |
| ·论文完成的具体工作 | 第87-88页 |
| ·非线性混频误差降低与补偿技术展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-101页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第101-102页 |
| 致谢 | 第102页 |
