微纳米表面形貌测量中探针形状重建的分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·表面形貌测量及其意义 | 第9页 |
| ·表面测量技术发展 | 第9-10页 |
| ·针尖几何形状对测量结果的影响 | 第10-11页 |
| ·研究的意义 | 第11页 |
| ·研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 微米探针重建方法 | 第13-15页 |
| ·微米－刮胡刀片法的介绍 | 第13页 |
| ·存在的问题 | 第13-14页 |
| ·纳米－盲重建 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第三章 纳米探针重建方法 | 第15-39页 |
| ·数学形态学的定义和性质 | 第15-16页 |
| ·纳米探针重建方法 | 第16-24页 |
| ·成像公式推导 | 第17-18页 |
| ·腐蚀算法 | 第18-19页 |
| ·盲重建 | 第19-24页 |
| ·最大非畸变探针 | 第19-20页 |
| ·探针的一个上界 | 第20-23页 |
| ·选择初始P_0 | 第23-24页 |
| ·LABVIEW开发环境的介绍 | 第24-26页 |
| ·Labview程序概念 | 第24-25页 |
| ·开发LABVIEW程序的一般步骤 | 第25-26页 |
| ·程序仿真 | 第26-36页 |
| ·探针形状的数学表达式 | 第26-28页 |
| ·映射、膨胀和腐蚀算法的实现 | 第28页 |
| ·探针形状对成像结果的影响 | 第28-31页 |
| ·用LABVIEW实现盲重建 | 第31-33页 |
| ·程序的实现 | 第31-32页 |
| ·边界点的处理 | 第32-33页 |
| ·盲重建法重建探针结果 | 第33-34页 |
| ·用重建的探针进行腐蚀运算 | 第34-36页 |
| ·用C语言实现盲重建算法 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 STRM法重建探针 | 第39-42页 |
| ·STRM法的提出 | 第39页 |
| ·模拟用STRM法重建探针 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 探针重建实验及数据比较 | 第42-50页 |
| ·实验设备 | 第42-43页 |
| ·微米尺度探针重建实验与结果比较 | 第43-49页 |
| ·实验A | 第43-44页 |
| ·实验B | 第44-45页 |
| ·实验C | 第45-49页 |
| ·表面粗糙度参数的介绍 | 第45-47页 |
| ·实验C与仿真结果比较 | 第47-49页 |
| ·纳米尺度探针重建实验与结果比较 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-55页 |
| ·总结 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-55页 |
| 攻读硕士期间发表论文及参与课题项目情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 附录 | 第57-61页 |
