| 摘 要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪 论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·气体传感器概述 | 第9-10页 |
| ·电子鼻概述 | 第10-11页 |
| ·碳化硅气体传感器研究概况和发展前景 | 第11-12页 |
| ·本文研究的主要内容及其意义 | 第12-13页 |
| 2 MISiC SBD气体传感器物理模型及特性模拟 | 第13-24页 |
| ·MISiC SBD气体传感器响应机理分析 | 第13-15页 |
| ·MISiC SBD气体传感器物理模型 | 第15-19页 |
| ·MISiC SBD气体传感器响应特性模拟 | 第19-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3 MISiC SBD气体传感器制备技术研究 | 第24-31页 |
| ·气体传感器的制备工艺流程研究 | 第24-29页 |
| ·MISiC SBD气体传感器的制备 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 4 MISiC SBD气体传感器响应特性研究 | 第31-42页 |
| ·传感器测试系统 | 第31-35页 |
| ·MISiC SBD气体传感器I-V特性 | 第35-39页 |
| ·MISiC SBD气体传感器I-t特性 | 第39-40页 |
| ·MISiC SBD气体传感器V-t特性 | 第40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 5 MISiC SBD气体传感器可靠性研究 | 第42-46页 |
| ·MISiC SBD气体传感器的失效机理分析 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 6 氢泄漏报警电路设计与实现 | 第46-52页 |
| ·设计思想 | 第46页 |
| ·电路的工作原理 | 第46-50页 |
| ·电路测试 | 第50-52页 |
| 7 总 结 | 第52-54页 |
| 致 谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第60页 |