硅铝结构热堆红外探测器
| 摘要 | 第1-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·机械传感器及红外热堆传感器 | 第9页 |
| ·最新近展 | 第9-10页 |
| ·红外热堆传感器 | 第10-11页 |
| ·论文内容 | 第11-12页 |
| 第二章 红外技术及红外探测器 | 第12-32页 |
| ·辐射理论 | 第12-14页 |
| ·红外测温基本原理 | 第14-18页 |
| ·红外测温应用及红外热像仪 | 第18-20页 |
| ·红外探测器 | 第20-28页 |
| ·红外探测器的特性参数 | 第20-24页 |
| ·红外探测器的种类 | 第24-28页 |
| ·红外探测器发展 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30页 |
| 参考文献 | 第30-32页 |
| 第三章 薄膜红外热电堆的设计 | 第32-49页 |
| ·热电堆工作原理 | 第32-34页 |
| ·器件结构设计 | 第34-35页 |
| ·器件模型 | 第35-39页 |
| ·选材 | 第39-41页 |
| ·隔热膜的设计 | 第41-43页 |
| ·热电堆设计 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第四章 薄膜热电堆的制作 | 第49-58页 |
| ·器件工艺流程 | 第49-50页 |
| ·硅膜制备 | 第50-52页 |
| ·红外吸收层 | 第52-53页 |
| ·器件制作工艺 | 第53-54页 |
| ·实验结果 | 第54-55页 |
| ·制作中应注意的几个问题 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第五章 传感器测试 | 第58-66页 |
| ·测试装置 | 第58-61页 |
| ·黑体 | 第58-59页 |
| ·信号调制 | 第59-60页 |
| ·前置放大 | 第60-61页 |
| ·锁相放大器 | 第61页 |
| ·参数测量 | 第61-63页 |
| ·测试结果 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 热堆器件结构改进 | 第66-70页 |
| ·反射层设计 | 第66-67页 |
| ·理论分析与测试 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第七章 二氧化硅薄膜应力研究 | 第70-75页 |
| ·二氧化硅薄膜对浓硼掺杂硅膜的应力影响 | 第70-72页 |
| ·二氧化硅膜对悬臂梁器件的影响 | 第72-73页 |
| ·红外探测器支撑膜应力分析与改进 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第八章 结论 | 第75-76页 |
| 附录一 常见材料比辐射率 | 第76-77页 |
| 附录二 各种不同类型的热电探测器件的性能 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 个人简介 | 第79-80页 |
