| 内容提要 | 第1-7页 |
| 第一章 前言 | 第7-15页 |
| ·热电偶的原理及发展概况 | 第7-11页 |
| ·热电偶的基本原理 | 第7-10页 |
| ·热电偶的发展概况 | 第10-11页 |
| ·薄膜热电偶的性质及其应用 | 第11-13页 |
| ·薄膜热电偶的优势 | 第11-12页 |
| ·薄膜热电偶发展及其应用 | 第12-13页 |
| ·论文选题目的和意义 | 第13-15页 |
| 第二章 测温薄膜热电偶在DAC 上的集成 | 第15-25页 |
| ·高温高压下物性研究的主要方法 | 第15-16页 |
| ·测温薄膜热电偶在DAC 上的集成 | 第16-25页 |
| ·金属薄膜的溅射 | 第17-18页 |
| ·金属薄膜的图形化 | 第18-21页 |
| ·氧化铝绝缘、绝热保护层的制备 | 第21-22页 |
| ·薄膜热电偶在DAC 上集成的工艺流程 | 第22-25页 |
| 第三章 W-Ta 薄膜热电偶在DAC 中的应用 | 第25-36页 |
| ·高温高压下物性研究的意义 | 第25-26页 |
| ·常压下W-Ta 薄膜热电偶的校对 | 第26-31页 |
| ·高压下W-Ta 薄膜热电偶的热电势随温度的变化关系 | 第31-36页 |
| 第四章 热电偶热电回路的构成与误差分析 | 第36-43页 |
| ·热电回路的构成 | 第36-40页 |
| ·误差分析 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第五章 展望与总结 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-51页 |
| 中文摘要 | 第51-54页 |
| Abstract | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |