| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·声表面波加速度传感器及其应用前景 | 第8-9页 |
| ·声表面波加速度传感器研究的现状及任务 | 第9-11页 |
| ·论文的结构安排 | 第11-12页 |
| 2 声表面波及器件 | 第12-21页 |
| ·声表面波 | 第12-15页 |
| ·声表面波 | 第12页 |
| ·声表面波叉指换能器 | 第12-15页 |
| ·声表面波器件 | 第15-20页 |
| ·声表面波延迟线 | 第15-16页 |
| ·声表面波谐振器 | 第16-17页 |
| ·声表面波振荡器 | 第17-18页 |
| ·声表面波带通滤波器 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 声表面波加速度传感器 | 第21-33页 |
| ·SAW 加速度传感器的结构形式 | 第21-22页 |
| ·SAW 加速度传感器的静态特性分析 | 第22-28页 |
| ·石英晶体悬臂梁应力分析 | 第22-23页 |
| ·SAW 谐振器敏感应变的原理 | 第23-25页 |
| ·SAW 加速度传感器的灵敏系数推导 | 第25-28页 |
| ·SAW 加速度传感器的动态特性分析 | 第28-32页 |
| ·加速度传感器的基本数学模型 | 第28-30页 |
| ·SAW 加速度传感器的信号特征 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 声表面波加速度传感器系统设计 | 第33-44页 |
| ·SAW 加速度传感器悬臂梁的设计 | 第33-34页 |
| ·悬臂梁式SAW 加速度传感器差动结构的改进方案 | 第34-36页 |
| ·悬臂梁式SAW 加速度传感器的系统设计 | 第36-42页 |
| ·悬臂梁式SAW 加速度传感器闭环系统设计 | 第36-38页 |
| ·用静电力扩大悬臂梁式SAW 加速度传感器量程的原理 | 第38-40页 |
| ·SAW 加速度传感器被测加速度方向及大小范围的判断 | 第40-42页 |
| ·SAW 加速度传感器的计量标定 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 声表面波加速度传感器信号检测系统 | 第44-58页 |
| ·悬臂梁式SAW 加速度传感器信号检测系统概述 | 第44-45页 |
| ·混频原理 | 第45-46页 |
| ·PSPICE 简介 | 第46-49页 |
| ·Pspice 概述 | 第46-47页 |
| ·Pspice 程序设计 | 第47-49页 |
| ·混频电路的设计与分析 | 第49-57页 |
| ·双栅MOSFET 的混频原理 | 第49-51页 |
| ·双栅MOSFET 混频电路设计及分析 | 第51-54页 |
| ·双栅MOSFET 混频电路输出信号的测量 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 6 结论 | 第58-59页 |
| ·结论 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录 | 第64-66页 |