| 提要 | 第1-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-28页 |
| ·磁性材料简介 | 第7-11页 |
| ·磁性薄膜材料及其制备方法 | 第11-14页 |
| ·典型金属氮化物磁性薄膜的结构及性能简介 | 第14-24页 |
| ·Co-N 薄膜材料的研究现状 | 第24-26页 |
| ·本论文的研究目的及内容 | 第26-28页 |
| 第2章 薄膜的制备方法与表征手段 | 第28-43页 |
| ·溅射镀膜的工作原理 | 第28-32页 |
| ·溅射镀膜的种类 | 第32-38页 |
| ·对靶磁控溅射实验装置 | 第38-40页 |
| ·薄膜的表征手段 | 第40-43页 |
| 第3章 氮气分压对Co-N 薄膜结构、表面形貌和磁性的影响.. | 第43-52页 |
| ·氮气分压对 Co-N 薄膜结构的影响 | 第43-46页 |
| ·氮气分压对 Co-N 薄膜表面形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·氮气分压对 Co-N 薄膜磁性的影响 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 溅射功率对 Co-N 薄膜结构、表面形貌和磁性的影响.. | 第52-58页 |
| ·溅射功率对 Co-N 薄膜结构的影响 | 第52-54页 |
| ·溅射功率对 Co-N 薄膜表面形貌的影响 | 第54-55页 |
| ·溅射功率对 Co-N 薄膜磁性的影响 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-67页 |
| 摘要 | 第67-70页 |
| Abstract | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73页 |