| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-33页 |
| ·课题背景 | 第11-20页 |
| ·衍射度量术的产生与发展 | 第11-14页 |
| ·本文中所研究的亚微米周期浮雕型光栅 | 第14-20页 |
| ·衍射度量术的国内外研究现状及关键问题 | 第20-29页 |
| ·衍射度量术的理论研究 | 第20-26页 |
| ·衍射度量术的实验方法 | 第26-29页 |
| ·衍射度量术的发展趋势与现存问题 | 第29页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第29-31页 |
| ·课题的选取及研究意义 | 第29-30页 |
| ·课题的研究内容 | 第30-31页 |
| ·论文的结构安排 | 第31-32页 |
| 本章小结 | 第32-33页 |
| 第2章 利用衍射度量术与ANN 离线测量浮雕型光栅形貌参数 | 第33-62页 |
| ·引言 | 第33-35页 |
| ·背景介绍 | 第33-34页 |
| ·基本原理 | 第34-35页 |
| ·傅立叶模态法简介 | 第35-41页 |
| ·均匀媒质中光场的表达式 | 第36页 |
| ·光栅区域中光场的表达式 | 第36-38页 |
| ·傅立叶因式分解与数值截断 | 第38页 |
| ·边界条件与散射矩阵 | 第38-41页 |
| ·BP-ANN 算法简介 | 第41-47页 |
| ·ANN 的基本原理 | 第41-43页 |
| ·BP-ANN 的设计和训练 | 第43-45页 |
| ·L-M 算法介绍 | 第45-47页 |
| ·铬膜上驻波形掩模光栅的无损测量 | 第47-61页 |
| ·光栅参数与浮雕形貌的几何建模 | 第47-49页 |
| ·检测对象与入射条件的选择 | 第49-51页 |
| ·BP-ANN 的训练 | 第51-52页 |
| ·实验装置与参数 | 第52-55页 |
| ·理论预测与实验结果 | 第55-57页 |
| ·误差分析与讨论 | 第57-61页 |
| 本章小结 | 第61-62页 |
| 第3章 小阶梯光栅的制作工艺 | 第62-93页 |
| ·背景介绍 | 第62-67页 |
| ·小阶梯闪耀光栅的参数设计与制作要求 | 第62-64页 |
| ·全息法制作小阶梯光栅工艺简介 | 第64-66页 |
| ·离子束刻蚀工艺的基本原理 | 第66-67页 |
| ·刻蚀模型 | 第67-72页 |
| ·刻蚀过程的简化描述 | 第67-68页 |
| ·掩模高度、宽度对刻蚀后光栅槽形的影响 | 第68-70页 |
| ·刻蚀时间对光栅槽型的影响 | 第70-72页 |
| ·工艺步骤 | 第72-84页 |
| ·简介 | 第72-73页 |
| ·基片清洁 | 第73-74页 |
| ·匀胶 | 第74-76页 |
| ·曝光 | 第76-77页 |
| ·显影 | 第77-78页 |
| ·刻蚀预处理 | 第78-79页 |
| ·离子束刻蚀 | 第79-84页 |
| ·工艺实验和光学检测结果 | 第84-91页 |
| ·微观形貌 | 第84-87页 |
| ·光谱仪器上的检测结果 | 第87-89页 |
| ·光栅的衍射谱线 | 第89-91页 |
| 本章小结 | 第91-93页 |
| 第4章 矩形光刻胶掩模光栅显影过程中的实时监测 | 第93-109页 |
| ·引言 | 第93-94页 |
| ·方法原理 | 第94-98页 |
| ·基本前提假设 | 第94-97页 |
| ·0 级衍射光监测的提出 | 第97-98页 |
| ·实验方案 | 第98-100页 |
| ·实验装置与参数 | 第98页 |
| ·数据与信号处理 | 第98-100页 |
| ·实验结果 | 第100-107页 |
| ·结果展示 | 第100-102页 |
| ·误差分析与讨论 | 第102-107页 |
| 本章小结 | 第107-109页 |
| 第5章 透明基底上矩形掩模光栅形貌参数的无损检测 | 第109-116页 |
| ·背景 | 第109-110页 |
| ·方法原理 | 第110-112页 |
| ·实验结果 | 第112-113页 |
| ·误差分析与讨论 | 第113-114页 |
| 本章小结 | 第114-116页 |
| 第6章 离子束刻蚀小阶梯介质光栅的终点监测方法 | 第116-134页 |
| ·引言 | 第116-117页 |
| ·方法原理 | 第117-120页 |
| ·监测光路的设计 | 第117-118页 |
| ·监测曲线的理论模拟 | 第118-119页 |
| ·监测光束入射条件的选择 | 第119-120页 |
| ·实验结果与讨论 | 第120-132页 |
| ·实验曲线分析 | 第120-125页 |
| ·监测方法的适用范围 | 第125-132页 |
| 本章小结 | 第132-134页 |
| 第7章 总结与展望 | 第134-137页 |
| ·论文工作总结 | 第134-135页 |
| ·展望 | 第135-137页 |
| 参考文献 | 第137-143页 |
| 致谢 | 第143-144页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第144页 |