| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-10页 |
| ·课题背景 | 第6-8页 |
| ·论文研究内容与结构 | 第8-10页 |
| 第2章 多孔硅技术基础 | 第10-19页 |
| ·多孔硅研究背景及意义 | 第10页 |
| ·多孔硅制备方法 | 第10-13页 |
| ·湿度传感器 | 第13-15页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第13-14页 |
| ·电容式湿度传感器的分类及结构 | 第14-15页 |
| ·多孔硅基湿度传感器 | 第15-18页 |
| ·多孔硅湿度传感器感湿机理 | 第16页 |
| ·多孔硅湿度传感器结构 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 多孔硅制备及性能研究 | 第19-28页 |
| ·实验器材及试剂 | 第19-20页 |
| ·多孔硅制备 | 第20-27页 |
| ·实验步骤 | 第21-22页 |
| ·实验内容 | 第22页 |
| ·实验数据及结果分析 | 第22-26页 |
| ·确定制作湿度传感器用多孔硅制备条件 | 第26-27页 |
| ·本章总结 | 第27-28页 |
| 第4章 多孔硅基电容式湿度传感器制作及性能研究 | 第28-42页 |
| ·多孔硅基电容式湿度传感器制作步骤 | 第28-30页 |
| ·制作电极 | 第28页 |
| ·制作铜版 | 第28-29页 |
| ·刻铜片 | 第29页 |
| ·溅射生长二氧化硅 | 第29页 |
| ·蒸Al电极 | 第29-30页 |
| ·多孔硅基电容式湿度传感器性能测试 | 第30-41页 |
| ·(80mA/cm~2,30min)条件下腐蚀多孔硅制作的传感器测试数据 | 第31-35页 |
| ·(40mA/cm~2,20min)条件下腐蚀多孔硅制作的传感器测试数据 | 第35-41页 |
| ·本章总结 | 第41-42页 |
| 第5章 湿度信号采集及显示电路的设计 | 第42-54页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·电路设计 | 第42-53页 |
| ·整机电路设计 | 第42-43页 |
| ·湿度信号采集电路设计及工作原理 | 第43-46页 |
| ·显示电路设计 | 第46-48页 |
| ·C源代码设计 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |