面向微光学元件加工的纳米压印系统设计及过程仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第11-17页 |
| ·纳米压印技术制作微光学器件 | 第11-14页 |
| ·纳米压印设备 | 第14-17页 |
| ·课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 基于纳米压印的微光学元件加工及机理研究 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·热压印工艺过程的研究 | 第18-19页 |
| ·聚合物的宏观力学特性 | 第19-23页 |
| ·聚合物的温度依赖性 | 第19-21页 |
| ·聚合物的时间依赖性 | 第21-23页 |
| ·聚合物的时温等效原理 | 第23-24页 |
| ·热压印中聚合物填充过程建模 | 第24-25页 |
| ·热压印中聚合物填充及回弹仿真 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 纳米压印设备的总体设计 | 第28-43页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·纳米压印设备总体方案设计及性能指标 | 第28-29页 |
| ·纳米压印设备机械结构 | 第29-34页 |
| ·机身设计 | 第30-31页 |
| ·导向装置设计 | 第31-32页 |
| ·压头平行度设计 | 第32-34页 |
| ·纳米压印设备压力系统 | 第34-36页 |
| ·压力执行装置的选择 | 第34-35页 |
| ·压力控制方式的选择 | 第35-36页 |
| ·纳米压印设备温度控制系统 | 第36-39页 |
| ·压头材料的选择 | 第36-37页 |
| ·加热方式的选择 | 第37-38页 |
| ·加热模块的结构 | 第38页 |
| ·隔热材料的选择 | 第38-39页 |
| ·温度控制系统硬件 | 第39-42页 |
| ·固态继电器 | 第39-40页 |
| ·温度传感器 | 第40-41页 |
| ·电桥电路 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 压力控制系统研究 | 第43-60页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·控制系统总体方案 | 第43-44页 |
| ·PWM控制开关阀原理及实现 | 第44-46页 |
| ·PWM控制的气压伺服系统建模 | 第46页 |
| ·气体两腔质量流量连续性方程 | 第46-51页 |
| ·气体两腔的压力微分方程 | 第47-48页 |
| ·气缸活塞的力平衡方程 | 第48页 |
| ·控制阀的压力流量方程 | 第48-49页 |
| ·电/气开关伺服系统的传递函数 | 第49-51页 |
| ·压力控制方法 | 第51-54页 |
| ·PID控制原理 | 第51-53页 |
| ·PID参数整定 | 第53-54页 |
| ·控制系统软硬件实现 | 第54-59页 |
| ·硬件设计 | 第54-57页 |
| ·软件设计 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第60-72页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·实验平台 | 第60-61页 |
| ·压力均匀性检测实验 | 第61-62页 |
| ·压力控制实验 | 第62-67页 |
| ·压力线性度测试 | 第62-63页 |
| ·压力稳定性测试 | 第63-65页 |
| ·压力重复性测试 | 第65页 |
| ·压力分辨力测试 | 第65-66页 |
| ·压力长期稳定性测试 | 第66-67页 |
| ·温度控制实验 | 第67-68页 |
| ·升温速度实验 | 第67页 |
| ·稳态温度控制实验 | 第67-68页 |
| ·微光学元件复制实验 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 附录1 通讯协议 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第79页 |
| 攻读博士学位期间申请的发明专利 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
