| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-25页 |
| 摘要 | 第8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·准分子紫外光源 | 第9-14页 |
| ·准分子 | 第9-11页 |
| ·介质阻挡放电 | 第11-12页 |
| ·准分子光源的优点及应用 | 第12-13页 |
| ·稀有气体-卤素准分子的形成过程 | 第13-14页 |
| ·稀有气体-卤素准分子光源的研究现状 | 第14-20页 |
| ·氯化氪(KrCl~*)准分子灯 | 第14-16页 |
| ·溴化氪(KrBr~*)准分子灯 | 第16-17页 |
| ·氯化氙(XeCl~*)准分子灯 | 第17-18页 |
| ·碘化氙(XeI~*)准分子灯 | 第18-19页 |
| ·溴化氙(XeBr~*)准分子灯 | 第19-20页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本论文的创新点 | 第21-22页 |
| 第一章 参考文献 | 第22-25页 |
| 第二章 氯化氪准分子紫外光源的特性研究 | 第25-67页 |
| 摘要 | 第25页 |
| Abstract | 第25-27页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·氯化氪准分子的形成过程 | 第27-30页 |
| ·氯化氪准分子灯的结构和制备 | 第30-34页 |
| ·氯化氪准分子灯的光谱 | 第34页 |
| ·实验装置和测量方法 | 第34-37页 |
| ·管壁厚度和电源波形对氯化氪准分子灯效率的影响 | 第37-54页 |
| ·输入功率 | 第37-41页 |
| ·辐照度和辐射功率 | 第41-45页 |
| ·KrCl~*准分子灯的效率 | 第45-49页 |
| ·KrCl~*准分子灯辐射效率测量的误差分析 | 第49-54页 |
| ·气体参数对氯化氪准分子灯的影响 | 第54-63页 |
| ·气压对KrCl~*准分子灯效率的影响 | 第55-58页 |
| ·Cl_2比例对KrCl~*准分子灯效率的影响 | 第58-60页 |
| ·气压、Cl_2比例对KrCl~*准分子灯光谱的影响 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第二章 参考文献 | 第65-67页 |
| 第三章 溴化氪准分子紫外光源的特性研究 | 第67-81页 |
| 摘要 | 第67页 |
| Abstract | 第67-68页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·溴化氪准分子的形成过程 | 第69-70页 |
| ·溴化氪准分子灯的制备及光谱测量 | 第70-73页 |
| ·KrBr~*准分子灯的制备 | 第70-73页 |
| ·KrBr~*准分子灯的光谱 | 第73页 |
| ·实验装置和测量方法 | 第73-76页 |
| ·输入功率 | 第73-76页 |
| ·辐射功率 | 第76页 |
| ·KrBr~*准分子灯的效率 | 第76页 |
| ·气体参数对溴化氪准分子灯的影响 | 第76-79页 |
| ·气压对KrBr~*准分子灯的影响 | 第76-77页 |
| ·Br_2比例对KrBr~*准分子灯效率的影响 | 第77-78页 |
| ·气压对KrBr~*准分子灯光谱的影响 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第三章 参考文献 | 第80-81页 |
| 第四章 结论和展望 | 第81-86页 |
| 摘要 | 第81页 |
| Abstract | 第81-82页 |
| ·结论 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-85页 |
| 第四章 参考文献 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-88页 |
| 博士研究生期间发表文章 | 第88-90页 |