面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 致谢 | 第9-14页 |
| 1 绪论 | 第14-31页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第14-16页 |
| ·振动主动控制与主动隔振 | 第16-18页 |
| ·振动主动控制技术 | 第16-18页 |
| ·主动隔振技术 | 第18页 |
| ·国内外主动隔振技术的研究现状 | 第18-28页 |
| ·精密设备微幅隔振技术的研究 | 第19-21页 |
| ·主动隔振技术中驱动器与传感器的研究 | 第21-23页 |
| ·主动隔振技术中功率流传递特性的研究 | 第23-26页 |
| ·主动隔振技术中控制策略的研究 | 第26-28页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第28-31页 |
| 2 精密仪器主动隔振系统的动力学分析 | 第31-47页 |
| ·精密仪器的允许振动值与振动环境分析 | 第31-34页 |
| ·精密仪器的允许振动值 | 第31-32页 |
| ·电镜类光学仪器的工作原理及其振动激励环境的分析 | 第32-34页 |
| ·精密仪器隔振系统的动力学方程 | 第34-38页 |
| ·一级隔振系统主被动隔振传递率分析 | 第38-41页 |
| ·被动隔振系统 | 第38-40页 |
| ·主动隔振系统 | 第40-41页 |
| ·二级主动隔振系统的振动传递率分析 | 第41-46页 |
| ·主动隔振驱动器不同安装方式的动力学分析 | 第42-43页 |
| ·不同参数作为控制变量时的振动传递率分析 | 第43页 |
| ·加速度反馈时的振动传递率分析 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 3 超磁致伸缩驱动器的输出特性与磁滞模型研究 | 第47-65页 |
| ·磁致伸缩机理与超磁致伸缩材料的特性 | 第47-49页 |
| ·超磁致伸缩驱动器的结构与磁路设计 | 第49-52页 |
| ·超磁致伸缩驱动器的结构 | 第49-50页 |
| ·相关磁路参数设计 | 第50-52页 |
| ·超磁致伸缩驱动器热变形的抑制与补偿方法 | 第52-55页 |
| ·恒温水冷却法 | 第52-53页 |
| ·热变形抵消法 | 第53页 |
| ·柔性铰链机构补偿法 | 第53-54页 |
| ·软件补偿法 | 第54-55页 |
| ·超磁致伸缩驱动器的静态特性测试 | 第55-57页 |
| ·电流-输出位移特性 | 第55-56页 |
| ·电流-输出力特性 | 第56-57页 |
| ·超磁致伸缩驱动器的动态特性测试 | 第57-59页 |
| ·动态位移输出特性 | 第57-58页 |
| ·动态驱动力输出特性 | 第58-59页 |
| ·滞后响应特性 | 第59页 |
| ·超磁致伸缩驱动器磁机祸合模型的建立 | 第59-64页 |
| ·磁致伸缩模型 | 第60页 |
| ·磁化模型 | 第60-62页 |
| ·磁机耦合模型 | 第62-63页 |
| ·模型中各参数的确定 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 精密仪器隔振系统中功率流的传递特性研究 | 第65-82页 |
| ·隔振系统的功率流传递方程 | 第65-66页 |
| ·隔振平台系统中功率流的传递模型 | 第66-68页 |
| ·精密仪器隔振平台系统的导纳分析 | 第68-75页 |
| ·隔振平台A导纳分析 | 第68-69页 |
| ·中间质量C导纳分析 | 第69-70页 |
| ·隔振元件B导纳分析 | 第70-74页 |
| ·隔振元件D导纳分析 | 第74-75页 |
| ·功率流传递特性的仿真计算及分析 | 第75-81页 |
| ·隔振平台系统中功率流传递方程 | 第75页 |
| ·计算模型及参数选择 | 第75-77页 |
| ·相关计算结果 | 第77-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 5 精密仪器隔振系统的免疫控制研究 | 第82-99页 |
| ·人工免疫系统的控制机理 | 第83-85页 |
| ·生物免疫系统调节原理 | 第83-84页 |
| ·人工免疫系统的反馈控制模型 | 第84-85页 |
| ·精密仪器隔振平台控制系统的状态方程 | 第85-87页 |
| ·免疫PID控制器的设计 | 第87-89页 |
| ·隔振系统的免疫PID控制仿真研究 | 第89-98页 |
| ·免疫控制器的S函数实现 | 第89-91页 |
| ·隔振系统的Matlab仿真 | 第91-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 6 精密仪器模拟隔振平台的实验研究与分析 | 第99-112页 |
| ·模拟隔振平台主动控制实验系统 | 第99-103页 |
| ·模拟隔振实验台的结构设计 | 第99-101页 |
| ·实验系统测控硬件设计 | 第101-102页 |
| ·实验系统测控软件设计 | 第102-103页 |
| ·模拟隔振平台振动控制实验研究 | 第103-111页 |
| ·冲击激励隔振实验 | 第103-104页 |
| ·正弦激励振动隔振实验 | 第104-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 7 结论与展望 | 第112-115页 |
| ·主要工作与结论 | 第112-114页 |
| ·研究展望 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-121页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和参加科研情况 | 第121页 |
| 1、发表的学术论文 | 第121页 |
| 2、参加的科研项目 | 第121页 |
