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非晶合金MEMS引信安全机构超塑性成形的关键技术研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第10-25页
    1.1 MEMS引信安全机构国内外研究现状第10-12页
    1.2 非晶合金微成形技术概述第12-17页
    1.3 微成形过程中的尺寸效应第17-19页
    1.4 超声振动辅助塑性成形研究现状第19-21页
    1.5 金属塑性成形的摩擦因数的测量第21-23页
    1.6 本文的主要内容以及意义第23-25页
2 样品制备与模具设计第25-32页
    2.1 非晶合金的制备第25-27页
    2.2 微弹簧结构设计与MEMS微弹簧机构的设计第27-29页
    2.3 硅模的设计与加工第29-31页
    2.4 微成形模具设计第31页
    2.5 本章小结第31-32页
3 非晶合金MEMS引信安全机构超塑性成形与有限元仿真第32-43页
    3.1 引言第32-33页
    3.2 挤压成形微弹簧拉伸试样第33-34页
    3.3 弹簧拉伸实验及有限元仿真第34-37页
    3.4 断口形貌分析第37-39页
    3.5 非晶合金微弹簧的相关表征第39-42页
    3.6 本章小结第42-43页
4 非晶合金热塑性成形摩擦因子测量第43-55页
    4.1 引言第43-44页
    4.2 非晶合金T形件挤压成形第44-50页
    4.3 T形件挤压有限元模拟第50-53页
    4.4 超声振动减少摩擦力的原因分析:第53-54页
    4.5 本章小结第54-55页
5 全文总结与工作展望第55-57页
    5.1 全文总结第55-56页
    5.2 工作展望第56-57页
致谢第57-58页
参考文献第58-63页

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