| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 综述 | 第8-18页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 垂直各向异性 | 第9-10页 |
| 1.3 霍尔效应与反常霍尔效应 | 第10-12页 |
| 1.4 自旋轨道传输和自旋轨道耦合效应 | 第12-15页 |
| 1.5 国内外研究进展 | 第15-16页 |
| 1.6 本论文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 1.6.1 Ta/Pt/Co/Pt薄膜的制备、优化与性质研究 | 第16页 |
| 1.6.2 Ta/Pt/Co/Ta薄膜的制备与性质研究 | 第16-18页 |
| 2 薄膜样品的制备与表征 | 第18-26页 |
| 2.1 前言 | 第18页 |
| 2.2 薄膜样品的制备 | 第18-19页 |
| 2.2.1 靶材 | 第18页 |
| 2.2.2 薄膜制备 | 第18-19页 |
| 2.3 器件加工 | 第19-21页 |
| 2.3.1 紫外曝光系统 | 第20-21页 |
| 2.3.2 离子束刻蚀 | 第21页 |
| 2.4 薄膜样品的表征设备 | 第21-26页 |
| 2.4.1 薄膜厚度测试 | 第21-22页 |
| 2.4.2 原子力显微镜(AFM) | 第22-23页 |
| 2.4.3 超导量子干涉仪(SQUID) | 第23页 |
| 2.4.4 综合物性测量系统(PPMS) | 第23-24页 |
| 2.4.5 X射线吸收光谱(XAS) | 第24-26页 |
| 3 Pt/Co/Pt薄膜样品的制备与优化 | 第26-34页 |
| 3.1 前言 | 第26页 |
| 3.2 实验制备 | 第26-27页 |
| 3.3 结果和讨论 | 第27-32页 |
| 3.3.1 压强对重金属Pt薄膜表面结构的影响 | 第27-28页 |
| 3.3.2 压强对磁性层Co薄膜表面结构的影响 | 第28-29页 |
| 3.3.3 重金属Pt厚度对Pt/Co/Pt多层膜垂直各向异性的影响 | 第29-31页 |
| 3.3.4 磁性层Co厚度对Pt/Co/Pt薄膜结构和垂直各向异性的影响 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 Ta/Pt/Co/Pt多层膜输运性质的研究 | 第34-40页 |
| 4.1 前言 | 第34页 |
| 4.2 实验制备 | 第34-35页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第35-39页 |
| 4.3.1 籽晶层Ta对Pt/Co/Pt多层膜垂直各向异性的研究 | 第35-37页 |
| 4.3.2 Ta/Pt/Co/Pt反常霍尔效应研究 | 第37页 |
| 4.3.3 Ta/Pt/Co/Pt不同温度霍尔电阻随面内磁场的变化 | 第37-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 Ta/Pt/Co/Ta多层膜磁性、输运性质的研究 | 第40-48页 |
| 5.1 前言 | 第40页 |
| 5.2 实验制备 | 第40-41页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第41-47页 |
| 5.3.1 磁性层Co厚度对Ta/Pt/Co/Ta多层膜垂直各向异性影响 | 第41-42页 |
| 5.3.2 Ta/Pt/Co/Ta反常霍尔效应研究 | 第42-43页 |
| 5.3.3 Ta/Pt/Co/Ta不同温度下霍尔电阻随面内磁场的变化 | 第43-45页 |
| 5.3.4 Ta/Pt/Co/Ta各向异性场和有效自旋霍尔角的表征 | 第45-46页 |
| 5.3.5 Ta/Pt/Co/Ta较大各向异性场和自旋霍尔角的来源 | 第46页 |
| 5.3.6 Ta/Pt/Co/Ta电流驱动磁化翻转的研究 | 第46-47页 |
| 5.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 6 结论 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 在学期间研究成果 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
