二氧化钒激光限幅涂层制备及性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 氧化钒的结构以及相变原理 | 第13-16页 |
| 1.2 二氧化钒涂层的激光限幅应用 | 第16-19页 |
| 1.3 国内外的研究进展 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文研究的目的、意义及内容 | 第21-23页 |
| 第二章 二氧化钒涂层的制备方法与表征 | 第23-35页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 二氧化钒涂层的制备方法 | 第23-26页 |
| 2.2.1 SG法 | 第23-24页 |
| 2.2.2 真空蒸镀法 | 第24页 |
| 2.2.3 PLD法 | 第24页 |
| 2.2.4 磁控溅射法 | 第24-26页 |
| 2.3 射频磁控溅射原理与设备介绍 | 第26-30页 |
| 2.3.1 制备设备介绍 | 第26-28页 |
| 2.3.2 射频磁控溅射原理 | 第28-30页 |
| 2.4 靶材选用 | 第30-31页 |
| 2.5 二氧化钒涂层的主要检测方法 | 第31-34页 |
| 2.5.1 XRD | 第31页 |
| 2.5.2 椭偏仪 | 第31-33页 |
| 2.5.3 AFM | 第33页 |
| 2.5.4 SEM | 第33页 |
| 2.5.5 傅里叶光谱仪 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 二氧化钒涂层的制备实验研究 | 第35-53页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 二氧化钒涂层厚度的理论计算 | 第35-40页 |
| 3.3 衬底的选择与前处理 | 第40-41页 |
| 3.4 制备二氧化钒涂层的预备实验 | 第41-44页 |
| 3.4.1 衬底温度的选择 | 第41-42页 |
| 3.4.2 退火温度范围的选取 | 第42-44页 |
| 3.5 工艺参数的正交实验优化 | 第44-52页 |
| 3.5.1 实验概述 | 第44页 |
| 3.5.2 正交实验方案设计 | 第44-45页 |
| 3.5.3 实验步骤 | 第45页 |
| 3.5.4 红外透过率结果与分析 | 第45-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 二氧化钒激光限幅涂层膜系分析与掺杂研究 | 第53-67页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 二氧化钒涂层光学参数研究 | 第53-57页 |
| 4.2.1 不同溅射时间下制备氧化钒涂层 | 第53-57页 |
| 4.2.2 检测结果 | 第57页 |
| 4.3 二氧化钒涂层膜系设计 | 第57-63页 |
| 4.3.1 TFC软件介绍 | 第57-59页 |
| 4.3.2 不同厚度的二氧化钒涂层分析 | 第59-60页 |
| 4.3.3 二氧化钒涂层增透膜系设计 | 第60-63页 |
| 4.4 二氧化钒涂层的掺杂研究 | 第63-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 总结 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第75页 |
