| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 热光伏技术概述 | 第8-11页 |
| 1.2 基于锑化物的热光伏电池 | 第11-12页 |
| 1.2.1 GaSb热光伏电池 | 第11页 |
| 1.2.2 GaInAsSb/GaSb热光伏电池 | 第11-12页 |
| 1.2.3 GaInSb/GaSb热光伏电池 | 第12页 |
| 1.3 热光伏电池的应用价值及前景 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文主要研究工作 | 第13-14页 |
| 2 GaInSb薄膜的MOCVD生长特性研究 | 第14-28页 |
| 2.1 金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）技术概述 | 第14-16页 |
| 2.1.1 MOCVD外延生长过程 | 第14-15页 |
| 2.1.2 MOCVD技术应用优势 | 第15-16页 |
| 2.2 MOCVD生长系统 | 第16-18页 |
| 2.3 GaxIn1-xSb的MOCVD生长特性研究 | 第18-27页 |
| 2.3.1 基本性质 | 第19-20页 |
| 2.3.2 GaxIn1-xSb薄膜的制备 | 第20-23页 |
| 2.3.3 GaxIn1-xSb薄膜表面形貌分析 | 第23-26页 |
| 2.3.4 高质量GaxIn1-xSb薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 GaInSb热光伏电池模拟 | 第28-52页 |
| 3.1 仿真软件Silvaco-TCAD简介 | 第28-30页 |
| 3.2 模拟思路及方法 | 第30-32页 |
| 3.3 器件结构及材料参数 | 第32-42页 |
| 3.3.1 器件结构 | 第32-33页 |
| 3.3.2 材料参数 | 第33-42页 |
| 3.4 GaInSb/GaSb热光伏电池性能模拟 | 第42-50页 |
| 3.4.1 有源区厚度及掺杂浓度对于热光伏电池性能的影响 | 第43-46页 |
| 3.4.2 窗.层厚度及掺杂浓度对于热光伏电池性能的影响 | 第46页 |
| 3.4.3 背电场层厚度及掺杂浓度对于热光伏电池性能的影响 | 第46-48页 |
| 3.4.4 温度效应对于热光伏电池性能的影响 | 第48-50页 |
| 3.5 GaInSb/GaSb热光伏电池优化 | 第50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 研究总结和展望 | 第52-54页 |
| 4.1 研究结论 | 第52-53页 |
| 4.2 研究展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
