| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 引言 | 第8-10页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第8页 |
| 1.2 本论文的主要工作及安排 | 第8-10页 |
| 第二章 LIBS薄膜分析技术研究现状及LIBS基础 | 第10-23页 |
| 2.1 LIBS薄膜分析技术研究现状 | 第10-11页 |
| 2.2 LIBS基本原理 | 第11-23页 |
| 2.2.1 激光与物质相互作用过程 | 第11-13页 |
| 2.2.2 等离子体演化特性 | 第13-15页 |
| 2.2.3 等离子体温度和电子密度的计算 | 第15-20页 |
| 2.2.4 等离子体的定量分析理论基础 | 第20-23页 |
| 第三章 实验系统和样品 | 第23-29页 |
| 3.1 LIBS光谱探测系统的设计和实现 | 第23-26页 |
| 3.1.1 LIBS实验系统的设计和实现 | 第23-24页 |
| 3.1.2 激光器 | 第24页 |
| 3.1.3 光谱仪 | 第24-25页 |
| 3.1.4 探测器 | 第25-26页 |
| 3.2 薄膜样品的制备 | 第26页 |
| 3.3 改进系统的实验装置 | 第26-28页 |
| 3.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 等离子体光谱辐射特性及影响因素研究 | 第29-37页 |
| 4.1 薄膜LIBS光谱和单脉冲检测重复性 | 第29-31页 |
| 4.2 光谱辐射时间分辨特性研究 | 第31-32页 |
| 4.3 激光脉冲能量对辐射光谱的影响研究 | 第32-34页 |
| 4.4 LFTSD参数对辐射光谱的影响研究 | 第34-36页 |
| 4.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第五章 等离子体时空演化机理及影响因素研究 | 第37-45页 |
| 5.1 激光能量对等离子体演化的影响研究 | 第37-38页 |
| 5.2 LFTSD参数对等离子体演化的影响研究 | 第38-41页 |
| 5.3 激光聚焦条件对等离子体演化的影响研究 | 第41页 |
| 5.4 等离子体温度和电子密度的计算 | 第41-43页 |
| 5.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第六章 实验系统的改进与定量分析能力评价 | 第45-50页 |
| 6.1 实验样品的制备 | 第45页 |
| 6.2 改进系统的重复性 | 第45-46页 |
| 6.3 系统的定量分析能力评价 | 第46-48页 |
| 6.4 等离子体电子密度的计算 | 第48-49页 |
| 6.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第七章 总结与展望 | 第50-54页 |
| 7.1 论文工作总结 | 第50-51页 |
| 7.2 下一步工作展望 | 第51-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |