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PERC型晶体硅太阳电池的光致衰减及其钝化技术研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第12-16页
    1.1 研究背景与意义第12-13页
    1.2 研究的目的与内容第13-14页
    1.3 论文结构与提纲第14-16页
第二章 文献综述第16-58页
    2.1 前言第16页
    2.2 太阳能电池的工作原理几种晶体硅太阳能电池的介绍第16-23页
        2.2.1 p-n结第16-20页
        2.2.2 晶体硅太阳能电池的制备第20-23页
            2.2.2.1 铝背场(Al-BSF)电池第20-22页
            2.2.2.2 背表面钝化点接触(PERC)电池第22-23页
    2.3 晶体硅太阳能电池的光致衰减第23-41页
        2.3.1 硼氧复合体引起的光致衰减(BO-LID)第23-30页
            2.3.1.1 光致衰减的性质第24-26页
            2.3.1.2 缺陷的化学组成第26-27页
            2.3.1.3 缺陷的电学行为第27-28页
            2.3.1.4 缺陷的动力学行为第28-30页
        2.3.2 金属铜引起的光致衰减(Cu-LID)第30-35页
            2.3.2.1 金属铜引起光致衰减的发现第30-31页
            2.3.2.2 金属铜引起光致衰减的机理第31-32页
            2.3.2.3 金属铜引起光致衰减的影响因素第32-34页
            2.3.2.4 金属铜引起光致衰减的抑制第34-35页
        2.3.3 PERC电池的光致衰减第35-41页
            2.3.3.1 单晶PERC的光致衰减第35-38页
            2.3.3.2 多晶PERC的光致衰减第38-41页
    2.4 光致衰减的抑制第41-51页
        2.4.1 硅材料层面抑制光致衰减第41-43页
            2.4.1.1 减少硅材料中的硼和氧来抑制光致衰减第41-42页
            2.4.1.2 共掺抑制光致衰减第42-43页
        2.4.2 硼氧复合体的第三态回复第43-48页
            2.4.2.1 第三态的发现和定义第43-45页
            2.4.2.2 影响第三态转变的因素第45-46页
            2.4.2.3 第三态回复的机理第46-48页
        2.4.3 PERC电池光衰减的抑制第48-51页
            2.4.3.1 单晶PERC光致衰减的抑制第48-49页
            2.4.3.2 多晶PERC的光致衰减第49-51页
    2.5 硅的表面态和表面钝化第51-57页
        2.5.1 表面态和表面复合第51-52页
        2.5.2 晶体硅表面钝化原理第52-53页
        2.5.3 晶体硅表面钝化技术第53-57页
            2.5.3.1 二氧化硅钝化第53-55页
            2.5.3.2 氮化硅钝化第55-56页
            2.5.3.3 氧化铝钝化第56-57页
    2.6 目前存在的问题第57-58页
第三章 实验样品和研究方法第58-66页
    3.1 实验样品制备第58-59页
        3.1.1 PERC电池的光致衰减研究第58-59页
            3.1.1.1 单晶PERC第58页
            3.1.1.2 多晶PERC第58-59页
        3.1.2 光照下氧化铝钝化效果研究第59页
        3.1.3 氢钝化界面态研究第59页
    3.2 实验设备第59-66页
        3.2.1 瞬态微波光电导寿命测试仪(MWPCD)第59-61页
        3.2.2 准稳态微波光电导(QSSPC)第61-62页
        3.2.3 深能级瞬态谱仪(DLTS)第62-66页
第四章 PERC电池光致衰减的探究第66-76页
    4.1 引言第66-67页
    4.2 实验第67-68页
        4.2.1 单晶PERC第67-68页
        4.2.2 多晶PERC第68页
    4.3 实验结果和讨论第68-75页
        4.3.1 单晶PERC第68-72页
            4.3.1.1 少子寿命探究光致衰减和第三态回复第68-69页
            4.3.1.2 小电流条件下的衰减和第三态回复第69-70页
            4.3.1.3 大电流处理第70-71页
            4.3.1.4 大电流大批量处理第71-72页
        4.3.2 多晶PERC的光致衰减第72-75页
    4.4 实验小结第75-76页
第五章 氧化铝钝化的光致增强效应第76-84页
    5.1 前言第76-77页
    5.2 实验第77页
    5.3 实验结果与讨论第77-83页
        5.3.1 氧化铝钝化效果在光照下的增强效应第77-79页
        5.3.2 氧化铝钝化效果光致增强效应的原因探究第79-82页
        5.3.3 RTP对氧化铝钝化光致增强效应的影响第82-83页
    5.4 实验小结第83-84页
第六章 氢对Al_2O_3/p-Si界面态的钝化效果研究第84-94页
    6.1 前言第84-85页
    6.2 实验第85页
    6.3 实验结果和讨论第85-92页
        6.3.1 机理介绍第85-86页
        6.3.2 界面态电荷的计算第86-87页
        6.3.3 氢对界面态的钝化第87-90页
        6.3.4 界面态能级分布和空穴捕获截面第90-92页
    6.4 实验小结第92-94页
第七章 结论第94-96页
    7.1 实验结论第94-95页
    7.2 本文创新性第95-96页
参考文献第96-110页
致谢第110-112页
作者简介第112-114页
攻读学位期间发表的学术论文第114页

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