| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-38页 |
| 1.1 稀土永磁材料发展历程及研究现状 | 第11-20页 |
| 1.1.1 稀土永磁材料基本概念 | 第11-12页 |
| 1.1.2 稀土永磁材料发展历程 | 第12-18页 |
| 1.1.3 稀土永磁薄膜材料研究现状 | 第18-20页 |
| 1.2 稀土永磁薄膜磁化反转行为及结构模型 | 第20-35页 |
| 1.2.1 稀土永磁薄膜材料的磁化反转行为 | 第20-23页 |
| 1.2.2 纳米复合稀土永磁材料结构的理论模型 | 第23-30页 |
| 1.2.3 Nd-Fe-B系永磁薄膜 | 第30-35页 |
| 1.3 本论文的研究意义和主要内容 | 第35-38页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第35-36页 |
| 1.3.2 主要内容 | 第36-38页 |
| 第二章 实验方法 | 第38-42页 |
| 2.1 引言 | 第38页 |
| 2.2 合金靶材制备 | 第38-39页 |
| 2.2.1 稀土合金靶材磁体制备流程 | 第38-39页 |
| 2.2.2 稀土合金靶材加工及表面处理 | 第39页 |
| 2.3 薄膜样品制备 | 第39-40页 |
| 2.4 样品表征及分析方法 | 第40-42页 |
| 2.4.1 磁性能测量 | 第40-41页 |
| 2.4.2 X-射线衍射(XRD)分析 | 第41页 |
| 2.4.3 扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析 | 第41页 |
| 2.4.4 透射电子显微镜(TEM)及能谱分析 | 第41页 |
| 2.4.5 磁力及原子力显微镜 | 第41-42页 |
| 第三章 各向异性永磁纳米薄膜的磁性和结构 | 第42-67页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 实验方法 | 第42-43页 |
| 3.3 垂直各向异性NdFeB纳米薄膜的磁性和结构 | 第43-51页 |
| 3.3.1 基片温度对NdFeB薄膜磁性能的影响 | 第43-47页 |
| 3.3.2 退火温度和时间对NdFeB纳米薄膜磁性能的影响 | 第47-51页 |
| 3.4 垂直各向异性CeFeB纳米薄膜的磁性和结构 | 第51-65页 |
| 3.4.1 磁性层厚度对CeFeB纳米薄膜磁性和磁学行为的影响 | 第52-59页 |
| 3.4.2 添加Nd层对CeFeB纳米薄膜磁性能和微结构的影响 | 第59-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 双层永磁相纳米复合永磁薄膜生长机理及磁性 | 第67-87页 |
| 4.1 引言 | 第67-68页 |
| 4.2 实验方法 | 第68-69页 |
| 4.3 双层永磁相纳米复合薄膜生长机理 | 第69-77页 |
| 4.3.1 各向异性纳米永磁薄膜生长机理 | 第69-72页 |
| 4.3.2 NdFeB/NdCeFeB双层永磁相纳米复合薄膜磁性及结构 | 第72-77页 |
| 4.4 NdFeB/CeFeB双层永磁相纳米复合薄膜的磁性及磁粘滞性 | 第77-85页 |
| 4.4.1 NdFeB/CeFeB双层永磁相纳米复合薄膜的磁性 | 第77-80页 |
| 4.4.2 NdFeB/CeFeB双层永磁相纳米复合薄膜的磁粘滞性 | 第80-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-87页 |
| 第五章 多层永磁相纳米复合永磁薄膜的磁性和结构 | 第87-104页 |
| 5.1 引言 | 第87页 |
| 5.2 实验方法 | 第87-88页 |
| 5.3 退火温度对Nd-Ce-Fe-B多层永磁相纳米复合薄膜磁性和结构的影响 | 第88-96页 |
| 5.4 Ta隔离层厚度对Nd-Ce-Fe-B多层永磁相纳米复合薄膜磁性和结构的影响 | 第96-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-104页 |
| 第六章 全文总结 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-121页 |
| 攻读博士学位期间学术成果 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
