| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 TiO_2的晶体结构与基本性质 | 第8-10页 |
| 1.2 TiO_2的光催化过程 | 第10-12页 |
| 1.2.1 催化过程中的电子传输 | 第10-12页 |
| 1.2.2 催化过程中的复合 | 第12页 |
| 1.3 TiO_2在环境治理方面的应用 | 第12-14页 |
| 1.4 TiO_2光催化剂的改性途径 | 第14-15页 |
| 1.4.1 非金属离子掺杂 | 第14页 |
| 1.4.2 金属离子掺杂 | 第14-15页 |
| 1.4.3 共掺杂 | 第15页 |
| 1.4.4 半导体复合 | 第15页 |
| 1.5 TiO_2薄膜的制备 | 第15-16页 |
| 1.5.1 溶胶凝胶法 | 第15-16页 |
| 1.5.2 化学气相沉积法 | 第16页 |
| 1.5.3 水热法 | 第16页 |
| 1.5.4 物理气相沉积法 | 第16页 |
| 1.6 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.7 选题的目的意义和研究内容 | 第17-19页 |
| 2 磁控溅射法制备TiO_2光催化薄膜 | 第19-29页 |
| 2.1 磁控溅射制备薄膜原理 | 第19-20页 |
| 2.1.1 溅射原理与特点 | 第19-20页 |
| 2.1.2 磁控溅射制备薄膜的原理 | 第20页 |
| 2.2 磁控溅射制备薄膜特点 | 第20-21页 |
| 2.3 本论文薄膜制备设备与工艺 | 第21-26页 |
| 2.3.1 实验薄膜制备设备介绍 | 第21-25页 |
| 2.3.2 实验所用材料与试剂 | 第25-26页 |
| 2.4 实验流程 | 第26页 |
| 2.5 实验测试表征方法 | 第26-29页 |
| 2.5.1 物相分析 | 第26页 |
| 2.5.2 形貌分析 | 第26-27页 |
| 2.5.3 厚度分析 | 第27页 |
| 2.5.4 化学成分与状态分析 | 第27页 |
| 2.5.5 紫外-可见光吸收分析 | 第27页 |
| 2.5.6 光催化性能分析 | 第27-29页 |
| 3 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜的制备与光催化降解性能研究 | 第29-47页 |
| 3.1 实验方案 | 第29-31页 |
| 3.1.1 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜的制备实验 | 第29-30页 |
| 3.1.2 亚甲基蓝光催化降解实验 | 第30页 |
| 3.1.3 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜厚度 | 第30-31页 |
| 3.2 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜的XRD分析 | 第31-33页 |
| 3.3 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜的SEM分析 | 第33-36页 |
| 3.3.1 Ag层镀膜时间对表面形貌的影响 | 第33-35页 |
| 3.3.2 Cr靶功率对表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜的紫外-可见分光吸收分析 | 第36-39页 |
| 3.4.1 Ag层厚度对薄膜禁带宽度及紫外-可见光吸收的影响 | 第37-38页 |
| 3.4.2 Cr靶溅射功率对薄膜禁带宽度及紫外-可见光吸收的影响 | 第38-39页 |
| 3.5 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜光催化降解MB的研究 | 第39-42页 |
| 3.5.1 Ag 层溅射时间对亚甲基蓝光催化降解效率影响 | 第39-41页 |
| 3.5.2 Cr 靶功率对亚甲基蓝光催化降解效率影响 | 第41-42页 |
| 3.6 TiN/Ag/Cr-TiO_2薄膜光催化降解效率的优化及其分析 | 第42-47页 |
| 4 结论与展望 | 第47-48页 |
| 4.1 结论 | 第47页 |
| 4.2 展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 附录 | 第54页 |
